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    在使用ICP-MS 分析高純?cè)噭┘皹悠返陌雽?dǎo)體領(lǐng)域，硝酸中存在的氮（Nitrogen）,、氧（Oxygen）及碳（Carbon）成分,，對(duì)這些元素的超痕量檢測(cè)構(gòu)成了嚴(yán)重的干擾，近年來(lái)對(duì) ICP-MS 就此類(lèi)元素的分析能力的要求也在不斷提高,。驗(yàn)證檢測(cè)硝酸基體中此類(lèi)非金屬元素的檢測(cè)能力是非常重要且迫在眉睫的課題,。

 

    本應(yīng)用的目的是利用硝酸介質(zhì),，了解NexION 2000S對(duì)此前 ICP-MS 系統(tǒng)不太好測(cè)量的非金屬元素，即磷（Phosphorous）,、硫（Sulfur）,、硅（Silicon）、氯（Chlorine）的檢測(cè)能力,。