任何金屬雜質(zhì)的存在都將對IC器件的可靠性產(chǎn)生不利影響,。在半導(dǎo)體實驗室進(jìn)行其他半導(dǎo)體材料分析時也常常會使用硝酸,，因此使用的硝酸需要具有高純度和高質(zhì)量,。由于具有快速測定各種工藝化學(xué)品中超痕量濃度待測元素的能力,，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）已成為了質(zhì)量控制*的分析工具,。然而,，在傳統(tǒng)的等離子體條件下,，往往存在氬離子與基質(zhì)成分結(jié)合產(chǎn)生多原子干擾的情況,。使用多極和非反應(yīng)氣體的碰撞池已被證明可以有效減少多原子干擾,。但是這種方法必須使用動能歧視去除反應(yīng)產(chǎn)生的副產(chǎn)物,，這將會造成靈敏度的下降。NexION 300 ICP-MS配置的通用池技術(shù)同時提供了碰撞模式,、反應(yīng)模式和標(biāo)準(zhǔn)模式三種測定模式,，因此儀器操作人員可以根據(jù)實際測定的要求選擇適合的模式,，并能在一個分析方法中進(jìn)行不同模式的切換。本應(yīng)用報告證明了NexION 300ICP-MS去除干擾,，從而在使用高溫等離子體的條件下通過一次分析就能夠?qū)NO3中全部痕量水平的雜質(zhì)元素進(jìn)行測定的能力,。這一實驗在一次測定中同時使用標(biāo)準(zhǔn)模式和反應(yīng)模式可以得到好的分析結(jié)果。
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