電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）能分析元素周期表中的大部分元素,。它具有多元素同時分析的能力，檢測限低,，動態(tài)范圍寬,，也是無機納米粒子（ENPS）工程測量的理想選擇。由于可以直接使用ICP-MS獲得納米顆粒伴生元素的濃度,，所以可以將粒子按大小首先分離,，再使用ICP-MS分析，從而得到更多信息,。常用的按大小分離的技術(shù)就是場流分級,。通過將一定大小的分離材料引入ICP-MS，可以測出復(fù)雜的,，多分散性的和化學(xué)異構(gòu)的ENPS的大小和元素組成,。
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