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更新時間：2022-11-30 17:50:19瀏覽次數(shù)：187評價

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產(chǎn)品分類品牌分類

RIE Etching

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產(chǎn)品簡介

PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng),，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案,。它易于放置，便于使用,，且能確保工藝性能,。直開式設(shè)計可實現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇,。它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現(xiàn)高質(zhì)量的工藝,。詢價增加到詢價列表在詢價列表中查看此產(chǎn)品

詳細介紹

III-V族材料刻蝕工藝
硅 Bosch和超低溫刻蝕工藝
類金剛石（DLC）沉積
二氧化硅和石英刻蝕
用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進行失效分析的干法刻蝕解剖工藝，可處理封裝好的芯片, 裸晶片,，以及200mm晶圓
用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模的刻蝕

RIE of InP waveguide

7 μm polyimide feature RIE

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