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這是一款安裝在FIB和SEM端口上的納米操縱手,,內(nèi)置了一個100nm閉環(huán)反饋控制器,,具有準(zhǔn)確、靈活,、易用等特點(diǎn),。使用閉環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行操作,獨(dú)立于電鏡樣品臺定位,,從而為樣品操作提供了額外的自由度,。利用定制的樣品臺和探針組合(CSP)可將樣品重新定位到特定角度。
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