測(cè)量范圍

X(mm)

300

Y(mm)

200

Z(mm)

200

工作臺(tái)

金屬臺(tái)面尺寸(mm)

460ⅹ360

玻璃臺(tái)面尺寸(mm)

329ⅹ229

儀器重量(kg)

260

外型尺寸

（長(zhǎng)ⅹ寬ⅹ高）（mm）

760ⅹ560ⅹ960

儀器精度

測(cè)量精度

X,Y 軸≤（3+L/200）μm   Z軸≤（5+L/50）μm

X,Y區(qū)段精度

≤（3+L/200）μm

X,、Y,、Z光柵分辨率

0.001mm

影像系統(tǒng)

變焦物鏡倍率

0.7～4.5X

視頻總倍率

30X～180X

物方視場(chǎng)

7-1mm

測(cè)量軟件

軟件Inspect3D

軟件功能：

2D,、2.5D元素測(cè)量：點(diǎn)、線,、圓、圓弧,、橢圓,、距離、角度,、矩形,、O形環(huán)、槽型,、開(kāi)云線,、閉云線、同心度,、深度,、平行度、對(duì)稱度,、垂直度,、高度,、平面距、傾斜度,。

3D元素測(cè)量：圓柱體,、圓椎體、球體等,。

組合元素測(cè)量：兩點(diǎn)距離,、兩線距離、點(diǎn)到線距離,、點(diǎn)到圓距離,、線到圓距離、圓心距,、兩線交點(diǎn),、組合角度、角平分線,、兩線中線,、三點(diǎn)組合圓、線圓切點(diǎn),。

電源

110V（AC）～220V(AC)      50HZ            總功率：1000W

使用環(huán)境

溫度：20±5℃            濕度：45%-65%

光學(xué)鏡頭

多層光學(xué)鍍膜  0.7-4.5X高清變倍鏡頭（銳星）

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

影像系統(tǒng)采用高分辨率彩色CCD、成像優(yōu)良,、清晰逼真,、色彩飽滿。

光學(xué)鏡頭采用高品質(zhì)光學(xué)組件,經(jīng)過(guò)多層光學(xué)鍍膜,、耐油漬,、耐腐蝕、光學(xué)衰減微小,、長(zhǎng)久使用仍然光亮清晰,。

光源系統(tǒng)

表面光

智能程控五環(huán)八區(qū)光源（美國(guó)GREE進(jìn)口 LED燈珠）

輪廓光

智能程控LED平行光源

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

進(jìn)口LED環(huán)形冷光源五環(huán)八區(qū)設(shè)計(jì)，無(wú)極調(diào)節(jié),，光線細(xì)膩柔和,，表面光成像明亮清晰。成像清晰,，邊角分明,，特別對(duì)軸類、圓弧類工件測(cè)量更加精準(zhǔn),。

傳動(dòng)系統(tǒng)

導(dǎo)軌（xy軸）

交叉導(dǎo)軌 （防蠕動(dòng)型）    （品牌：LB）

導(dǎo)軌（Z軸）

25線性導(dǎo)軌,，雙導(dǎo)軌四滑塊（品牌：中國(guó)臺(tái)灣TBI）

絲桿

20研磨級(jí)滾珠絲桿        （品牌：中國(guó)臺(tái)灣TBI）

傳動(dòng)結(jié)構(gòu)（xy軸）

采用整體共面的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，傳動(dòng)結(jié)構(gòu)與導(dǎo)軌同在一個(gè)整體平臺(tái)上,，且正向水平安裝（無(wú)拼接和側(cè)向固定）

傳動(dòng)結(jié)構(gòu)（Z軸）

采用中央驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),，絲桿居兩根導(dǎo)軌中間,，驅(qū)動(dòng)四個(gè)滑塊上下運(yùn)行

控制器

CNC全閉環(huán)控制器（四軸）

伺服電機(jī)

XY采用高慣量全閉環(huán)伺服電機(jī)，Z軸采用高慣量抱閘伺服電機(jī)（品牌：日本尼得科）

電機(jī)驅(qū)動(dòng)器：智能自適應(yīng)

安裝結(jié)構(gòu)

XYZ三軸均采用：BK端+BK端雙向固定方式,，BK固定座內(nèi)置雙角接觸軸承,。

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：高耐磨性，精度高,，速度快,，持久精度穩(wěn)定，穩(wěn)定性高,。

光柵尺

光柵分辨率0.001mm（海博）

減震系統(tǒng)

減震腳

外徑120mm     厚度：40mm    數(shù)量：4個(gè)

總承載重量

6噸

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：減震器的配置使儀器在有震動(dòng)的使用環(huán)境之下或高速運(yùn)行的狀態(tài)下能夠使儀器獲得更高的精度、速度和穩(wěn)定性,。

玻璃臺(tái)

平面度

≤0.02mm

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：光學(xué)玻璃,，微浮法工藝制造，經(jīng)過(guò)精密研磨,，具有高的平面度和透光率,。

工作臺(tái)

材料

高強(qiáng)度航空鋁

結(jié)構(gòu)

三層全尺寸

工藝

自然時(shí)效，分時(shí)分序加工

裝配

尼康光學(xué)準(zhǔn)直儀調(diào)試精度

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：三層工作臺(tái)設(shè)計(jì),，高強(qiáng)度航空鋁合金材料,，經(jīng)過(guò)特殊的處理工藝，使材料內(nèi)部和表面具備了強(qiáng)的硬度和穩(wěn)定性,。長(zhǎng)久的自然時(shí)效過(guò)程,，使工作臺(tái)消除了內(nèi)應(yīng)力的變化，物理特性非常穩(wěn)定,。

底座立柱

材料

機(jī)身濟(jì)南青級(jí)天然花崗巖材料

精度

00級(jí)

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：底座和立柱采用高精度天然花崗巖,，00級(jí)研磨處理，物理特性穩(wěn)定,，無(wú)內(nèi)應(yīng)力變化,，使三軸具有相同的溫度特性和膨脹系數(shù)，保證儀器精度的長(zhǎng)久性,，可靠性和穩(wěn)定性,。

項(xiàng)目

序號(hào)

配件名稱

技術(shù)參數(shù)及性能

品牌

影像系統(tǒng)

1

CCD攝相機(jī)

彩色1/3"高清相機(jī)

康斯德

2

光學(xué)鏡頭

多層光學(xué)鍍膜   0.7-4.5X高清變倍鏡頭

銳星

光源系統(tǒng)

3

表面光

五環(huán)八區(qū)

美國(guó)GREE燈珠

4

輪廓光

平行光

傳

動(dòng)

系

統(tǒng)

5

控制器

四軸全閉環(huán)

6

伺服電機(jī)

高精度全閉環(huán)伺服電機(jī)

日本尼得科

7

驅(qū)動(dòng)器

智能自診斷驅(qū)動(dòng)器

8

線性導(dǎo)軌

研磨P級(jí)

中國(guó)臺(tái)灣TBI

9

交叉導(dǎo)軌

研磨P級(jí)防蠕動(dòng)

LB

10

滾珠絲桿

研磨C3級(jí)

中國(guó)臺(tái)灣TBI

11

電機(jī)座

一體式C3級(jí)雙角接觸軸承

12

支撐座

一體式C3級(jí)

13

螺母座

研磨級(jí)鋼制

14

搖桿

3軸

15

限位開(kāi)關(guān)

WC5

邦拓斯

光柵尺

16

光柵尺

分辨率0.001mm

玻璃

17

玻璃

329*229mm

光學(xué)玻璃

工作臺(tái)

18

材料

高強(qiáng)航空鋁合金

中鋁

19

結(jié)構(gòu)

三層全尺寸

底座立柱

20

底座

00級(jí)天然花崗巖

濟(jì)南青

21

立柱

00級(jí)天然花崗巖

減震

22

減震

高穩(wěn)定雙層結(jié)構(gòu)減震臺(tái)

電腦

23

電腦

英特爾i3處理器,，256G固態(tài)硬盤

戴爾

顯示器

24

顯示器

21.5寸顯示器