Park Systems原子力顯微鏡 XE-7,，的納米領(lǐng)域研究利器,。*的三軸分離設(shè)計，既保證了XYZ三個方向無耦合效應(yīng),，從原理上消除了平面扭曲誤差,；同時獨(dú)立的Z軸掃描器，實(shí)現(xiàn)了真正的非接觸式掃描,，極大地擴(kuò)展了樣品適用范圍,。自上而下的直視光路，方便用戶對探針和樣品的觀察，專門設(shè)計的探針安裝方式,，簡化了光路調(diào)整過程,，降低了操作難度。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-7

儀器簡介:

    的納米領(lǐng)域研究利器,。*的三軸分離設(shè)計,，既保證了XYZ三個方向無耦合效應(yīng)，從原理上消除了平面扭曲誤差,；同時獨(dú)立的Z軸掃描器,，實(shí)現(xiàn)了真正的非接觸式掃描，極大地擴(kuò)展了樣品適用范圍,。自上而下的直視光路,，方便用戶對探針和樣品的觀察，專門設(shè)計的探針安裝方式,，簡化了光路調(diào)整過程,，降低了操作難度。

 

Park Systems原子力顯微鏡 XE-7技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍10μm*10μm（可選50μm*50μm ,，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）

 

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍12μm（可選25μm）

共振頻率：>5kHz

表面成像噪聲：0.03nm

 

樣品臺

樣品尺寸： 100mm*100mm*20mm

樣品重量：zui大500g

樣品臺移動范圍：13mm*13mm

 

主要特點(diǎn)：

一,、精確的XY方向掃描,，*消除了交叉耦合誤差

●使用獨(dú)立的閉環(huán)XY平板式掃描器和Z軸掃描器

●平板式的掃描掃描器,，殘留彎曲誤差極小

●整個掃描范圍內(nèi)的水平線性誤差小于2nm

●精確的高度測量

 

二、Non-Contact™(真正非接觸) 模式能夠延長針尖壽命,，提供高分辨率及保護(hù)樣品

●Z伺服速度是壓電陶瓷管的10倍

●非接觸模式可降低針尖磨損,、延長使用壽命

●成像分辨率優(yōu)于同類原子顯微鏡

●增強(qiáng)樣品兼容性，提高掃描精度

 

三,、zui豐富的功能拓展

●支持多種SPM模式

●支持多種選配測量模式

●支持各種可選配件,，擴(kuò)展性能*

 

四、zui為便利的使用設(shè)計

●開放式樣品空間,，提高樣品及針尖更換效率

●預(yù)對準(zhǔn)針尖安裝和同軸直視光路直觀地實(shí)現(xiàn)激光對準(zhǔn)

●燕尾鎖方便掃描頭拆卸