日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000,，是日立的200kV球差校正場發(fā)射透射電鏡,，采用冷場發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù),，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡化操作，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的*結(jié)合,。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無窗能譜（EDS）可以對原子級圖像進(jìn)行觀察和分析,，是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的Z佳工具,。

日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000

產(chǎn)品介紹：

HF-5000是日立的200kV球差校正場發(fā)射透射電鏡，采用冷場發(fā)射電子槍和全自動(dòng)化的球差校正技術(shù),，在保證超高分辨率的同時(shí)大大簡化操作，實(shí)現(xiàn)高分辨觀察與易用性的*結(jié)合,。HF-5000同樣具有超高空間分辨率的分析能力,，配合電子能量損失譜（EELS）和大面積無窗能譜（EDS）可以對原子級圖像進(jìn)行觀察和分析，是材料微觀結(jié)構(gòu)研究的*工具,。

 

日立球差校正透射電子顯微鏡HF-5000主要特點(diǎn)：

日立研發(fā)的全自動(dòng)STEM球差校正器

高穩(wěn)定,、高亮度的冷場發(fā)射電子槍

TEM、STEM,、SEM三位一體

大面積,、大固體角的無窗能譜儀

全新設(shè)計(jì)的鏡筒和高壓系統(tǒng)

全新設(shè)計(jì)的保護(hù)罩和熒光屏相機(jī)

高穩(wěn)定性側(cè)插樣品桿

兼容日立的特殊樣品桿和FIB系統(tǒng)

 

技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目	主要參數(shù)
電子槍	冷場發(fā)射電子槍
加速電壓	60-200kV
TEM點(diǎn)分辨率	0.23nm
HAADF-STEM分辨率	0.078nm
能譜	無窗SDD能譜，2 x 100mm2,，固體角2.0 Sr
電子能量損失譜	Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer
圖像模式	TEM明場像,、BF-STEM明場像、ABF-STEM環(huán)形暗場像,、HAADF-STEM高角度環(huán)形暗場像,、二次電子像、電子衍射花樣,、特征X射線像（可選）,、EELS像（可選）

 

應(yīng)用領(lǐng)域：

HF-5000作為一款球差校正冷場發(fā)射透射電鏡，其分辨率達(dá)到了亞埃級,，可以實(shí)現(xiàn)對樣品的超細(xì)微觀結(jié)構(gòu)的觀察和分析,，適用于金屬、陶瓷,、半導(dǎo)體,、納米材料等的觀察。同時(shí),，HF-5000*的TEM,、STEM、SEM三位一體功能不僅可以實(shí)現(xiàn)對材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)的研究,，也可以獲得材料表面的信息,。原子級分辨率的二次電子探測器可以彌補(bǔ)TEM和STEM無法觀察樣品表面的缺陷，同時(shí)相比普通的SEM又具有更高的分辨率,，可以滿足樣品表面高分辨形貌和結(jié)構(gòu)觀察的需求,，與TEM和STEM形成互補(bǔ),。全自動(dòng)化的球差校正過程又大大簡化了球差校正透射電鏡的使用難度，提高了觀察效率,，尤其適合測試平臺和科研中心等用戶,。