產(chǎn)品參數(shù)：

※ 備注

1：水平放置下的中心垂直負(fù)載,。

2：最小運(yùn)動(dòng)增量不等同于分辨率，最小運(yùn)動(dòng)增量是指運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在連續(xù),、穩(wěn)定情況下能夠移動(dòng)的最小量,。一般來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動(dòng)增量,?？紤]傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和編碼器對(duì)系統(tǒng)誤差的影響，直線電機(jī)位移臺(tái)與步進(jìn)電機(jī)位移臺(tái)相比,，其最小運(yùn)動(dòng)增量更加接近于分辨率,。

3：精度測(cè)量數(shù)據(jù)是平臺(tái)在水平放置的情況下使用激光干涉儀測(cè)量的數(shù)據(jù)

4：典型值和保證值的區(qū)別見(jiàn)技術(shù)指南。

5：最大速度為典型值,，根據(jù)負(fù)載和控制器的不同會(huì)有區(qū)別,。
 

多種行程可選，滿足更多應(yīng)用需求： 提供50mm 和 120mm 三種行程選擇,，結(jié)構(gòu)緊湊,，可靈活集成于各種空間受限的應(yīng)用場(chǎng)景。

一體化絲杠電機(jī),，運(yùn)行平穩(wěn)可靠： 采用上海鳴志一體化絲杠電機(jī),，無(wú)需聯(lián)軸器，避免偏心擾動(dòng),，運(yùn)行更加平穩(wěn),，保障長(zhǎng)期穩(wěn)定的可靠性。

高精度定位，穩(wěn)定可靠： 采用優(yōu)良的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),，搭配進(jìn)口 C3 級(jí)絲杠和高精度 SP 級(jí)導(dǎo)軌,，并集成光柵尺閉環(huán)控制

大承載能力，應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)： 穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，出色的承載能力,，輕松應(yīng)對(duì)重型負(fù)載挑戰(zhàn)。

相對(duì)快速響應(yīng),，提升效率： 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)帶來(lái)更快的響應(yīng)速度,，提升工作效率。

斷電自鎖,，安全可靠： 內(nèi)置斷電自鎖功能,，確保運(yùn)行安全可靠。

強(qiáng)大軟件支持,，輕松操控: 免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版 SDK,，支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開(kāi)發(fā)語(yǔ)言 (C/C++,、C#,、Matlab、LabVIEW 等),，方便用戶進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)和系統(tǒng)集成,。

高性能控制器，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜運(yùn)動(dòng): 控制器支持圓弧插補(bǔ),、直線插補(bǔ),、位置記憶和任意圖形導(dǎo)入，可滿足各種復(fù)雜運(yùn)動(dòng)控制需求,。（選配）

靈活通訊,，無(wú)縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實(shí)現(xiàn)高速,、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸,。

樣品臺(tái) Sample Stage、姿態(tài)調(diào)整 Posture Adjustment,、光學(xué)測(cè)試 Optical Test,、光學(xué)設(shè)備 Optical Equipment