受益于下游電視,、電腦,、手機等消費類電子產(chǎn)品以及商顯、車載,、醫(yī)療等專顯產(chǎn)品需求的推動,,近年來中國顯示面板市場規(guī)模整體呈增長態(tài)勢,由2016年的2984億元增長至2023的5694億元,,但整體增速逐步趨緩,市場競爭進一步加劇,。中大尺寸市場仍由LCD技術主導,,但競爭格局較為固定,需要進一步提升產(chǎn)品良率,,降本增效,,以提升產(chǎn)品利潤和競爭力。OLED技術逐漸成熟,,占領小尺寸市場,,但與LCD相比在工藝成熟度和產(chǎn)品良率上仍有較大的提升空間。綜上,,在LCD和OLED面板的制造中,,產(chǎn)品良率提升都是下一階段需要迫切解決的問題。
靜電的產(chǎn)生是因為每一種材料的電子能級不同,,兩種不同材料在接觸時會發(fā)生電荷轉移。由于靜電的負面效應,,使得保持高水準的產(chǎn)品質量和產(chǎn)品良率更加困難,。平板顯示制程中常見靜電損害主要有ESA(顆粒吸附)污染、ESD(靜電放電)污染和電磁波干擾引起的設備故障三種,。其中ESA污染是因為產(chǎn)品制程中的移動會造成產(chǎn)品表面有靜電場的存在,,它的靜電場會把附近的微粒吸引到它的表面,并且其吸力較大,,極難在沒有機械力的情形下清除,。微粒的靜電吸附,增加了芯片表面的污染,,進而降低了良率,。
四方光電研制的在線塵埃粒子計數(shù)器可以實時監(jiān)測潔凈車間中單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個數(shù),,并通過3.5寸觸摸屏顯示粒徑信息和警報提示,,當微粒超標時可通過內(nèi)置蜂鳴器報警,能有效應用于面板生產(chǎn)潔凈車間中,,滿足監(jiān)測需求,。四方光電在線塵埃粒子計數(shù)器OPC-6303DS/OPC-6510DS/OPC-6511DS采用光學散射原理,內(nèi)置四方光電的塵源智能識別模塊,,具有高效粒子識別率,,檢測精度高;內(nèi)置超聲波氣體流量傳感器,,實現(xiàn)28.3L恒流采樣,,數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定性高;低噪音渦輪風機采樣,,連續(xù)監(jiān)測穩(wěn)定性好,,壽命長,;滿足IS014644-1:2015、新版GMP,、JF1190-2008,、GB/T6167-2007標準,廣泛應用于百級,、千級,、萬級、十萬級等潔凈室環(huán)境,。
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