前言：
隨著新能源鋰電池,、半導(dǎo)體,、生物制藥、液晶面板等領(lǐng)域的快速發(fā)展,，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了更高的要求,，有效控制潔凈室空氣中的塵埃粒子濃度至關(guān)重要。按照國家相關(guān)規(guī)定,，潔凈室在設(shè)計(jì),、建造以及交付運(yùn)行以后，都需要對其性能和合理性進(jìn)行綜合評價(jià)分析,。那么,，企業(yè)為了滿足生產(chǎn)條件搭建符合標(biāo)準(zhǔn)要求的潔凈室環(huán)境，該如何實(shí)現(xiàn)對塵埃粒子的監(jiān)測呢?
以往客戶僅在項(xiàng)目驗(yàn)收時采用手持式塵埃粒子計(jì)數(shù)器針對作業(yè)廠區(qū)內(nèi)相關(guān)區(qū)域進(jìn)行潔凈度檢測,，而工程驗(yàn)收合格投入使用后,，則只會定期安排人工進(jìn)行抽查巡檢，這樣的做法會帶來一系列的問題,。
傳統(tǒng)手持式塵埃粒子計(jì)數(shù)器存在的問題及風(fēng)險(xiǎn)
1,、增加了企業(yè)的潔凈成本。
人工監(jiān)測將給潔凈廠房帶來額外的人員和設(shè)備,，增加了潔凈負(fù)荷,。有些企業(yè)為了能夠確保潔凈室作業(yè)環(huán)境持續(xù)可靠，會連續(xù)不間斷高功率運(yùn)行FFU風(fēng)機(jī),，這樣做不僅會加快濾網(wǎng),、風(fēng)機(jī)等的壽命消耗，也帶來了能源的浪費(fèi),。
2,、人工監(jiān)測缺乏采樣點(diǎn)和采樣時間的固定性,。
在手工操作下,，前后兩次采樣點(diǎn)的位置很難保證在同一點(diǎn)，采樣的時間也不能保證在不同班次或日期的同一個相對或時刻,。因此,，監(jiān)測數(shù)據(jù)之間很難產(chǎn)生相對的聯(lián)系，沒有可比性,，不利于判斷系統(tǒng)運(yùn)行的長期趨勢,。
3、定期檢測無法覆蓋所有污染超標(biāo)風(fēng)險(xiǎn),。
在生產(chǎn)過程中環(huán)境的情況往往是變化的,，原材料的進(jìn)出,、人員的更換以及產(chǎn)品的變化都將對潔凈室的潔凈程度有所影響。往往在一個班次開始時環(huán)境是滿足要求的,，而在結(jié)束時發(fā)現(xiàn)塵埃粒子數(shù)超出了標(biāo)準(zhǔn),。由于人工監(jiān)測無法提供連續(xù)監(jiān)測數(shù)據(jù)，因此無法估計(jì)系統(tǒng)是在何時偏離了規(guī)定工況,，更無法估計(jì)產(chǎn)品的質(zhì)量情況,。這就無法保證潔凈室潔凈度，進(jìn)而影響產(chǎn)品的良率和質(zhì)量,。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器升級在線監(jiān)測的必要性
1,、標(biāo)準(zhǔn)對在線監(jiān)測的要求。
新版GMP在硬件要求方面,，提高了部分生產(chǎn)條件的標(biāo)準(zhǔn),，增加了在線監(jiān)測的要求，特別對懸浮塵埃粒子,，也就是生產(chǎn)環(huán)境中的懸浮微粒的靜態(tài),、動態(tài)監(jiān)測，對浮游菌,、沉降菌(生產(chǎn)環(huán)境中的微生物)和表面微生物的監(jiān)測都作出了詳細(xì)的規(guī)定,。
2、實(shí)現(xiàn)智能自動控制,，無需人工參與,。
在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器能夠?qū)崟r監(jiān)測潔凈室內(nèi)懸浮顆粒的個數(shù)并及時報(bào)警;并具備能夠與FFU風(fēng)機(jī)等凈化設(shè)備智能聯(lián)動的功能，始終將環(huán)境內(nèi)懸浮塵埃粒子個數(shù)維持在標(biāo)準(zhǔn)要求的較低范圍內(nèi),，從而將FFU風(fēng)機(jī)設(shè)備的能耗和損耗控制在較低水平,。
3、覆蓋整個生產(chǎn)過程,，降低污染風(fēng)險(xiǎn),。
7*24小時的連續(xù)不間斷監(jiān)測，保證產(chǎn)品在全流程生產(chǎn)工序中免受污染,，提升產(chǎn)品質(zhì)量,，降低不良率風(fēng)險(xiǎn)。
在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器面臨的挑戰(zhàn)
1,、連續(xù)不間斷運(yùn)行,，對壽命的要求。
傳統(tǒng)手持式設(shè)備多采用氣泵進(jìn)行采樣,，而氣泵的壽命一般僅有幾千小時,，而且成本較高，噪音較大,。而且氣泵在運(yùn)行一段時間后會存在機(jī)械磨損,，造成對潔凈室環(huán)境的污染,。
2、連續(xù)不間斷運(yùn)行,，對數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和可靠性的要求,。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器在長期運(yùn)行的過程中，會由于光源的老化及采樣氣泵的磨損,，導(dǎo)致測量準(zhǔn)確度發(fā)生漂移,。由于手持式塵埃粒子計(jì)數(shù)器可以在每次使用前采用調(diào)零器進(jìn)行校準(zhǔn)，而在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器由于安裝位置的局限,，無法實(shí)現(xiàn)頻繁的調(diào)零動作,，這需要在線粒子計(jì)數(shù)器滿足免維護(hù)的要求。
3,、多點(diǎn)分布式安裝,，對設(shè)備系統(tǒng)及施工安裝的要求。
潔凈室在線監(jiān)測系統(tǒng),，是一套實(shí)時監(jiān)測潔凈區(qū)域潔凈度的在線監(jiān)控管理系統(tǒng),，對潔凈室內(nèi)的多個傳感器進(jìn)行管理。包括遠(yuǎn)程控制,、數(shù)據(jù)儲存,、歷史數(shù)據(jù)查詢、數(shù)據(jù)分析和趨勢圖,，當(dāng)被監(jiān)測區(qū)域一旦超出限定值系統(tǒng)將自動報(bào)警,。
四方光電塵埃粒子計(jì)數(shù)器：潔凈室在線監(jiān)測解決方案
四方光電基于12年光散射技術(shù)的研究與創(chuàng)新，推出了在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器OPC-6500F,、OPC-6303M和OPC-6510,，以及核心零部件激光塵埃粒子計(jì)數(shù)傳感器PM5000S、PM3003NS和PM5100,，可廣泛應(yīng)用于百級,、千級、萬級,、十萬級等潔凈室環(huán)境,。
1、低噪音渦輪風(fēng)機(jī)采樣,，7*24小時連續(xù)監(jiān)測穩(wěn)定性好,。
四方光電在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器OPC-6510采用大流量渦輪風(fēng)扇采樣，相對氣泵采樣有更好的穩(wěn)定性,，以及壽命表現(xiàn)，能夠滿足10年連續(xù)工作需求,。
2,、28.3L恒流采樣,，確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器OPC-6510內(nèi)置超聲波流量傳感器,，能夠快速準(zhǔn)確的監(jiān)測采樣流量,，實(shí)時進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，消除了氣泵長時間運(yùn)行后采樣流量衰減的影響,，保證在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器在長期運(yùn)行過程中的28.3L/min氣泵恒流采樣,。
3、數(shù)據(jù)精準(zhǔn),，與標(biāo)準(zhǔn)儀器設(shè)備線性相關(guān)性R2>0.9,。
為了驗(yàn)證在線塵埃粒子計(jì)數(shù)器是否能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求，四方光電將樣品送到韓國第三方測試機(jī)構(gòu)進(jìn)行了OPC6510與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備委托對比測試,，測試數(shù)據(jù)表明,，OPC6510與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備線性相關(guān)系數(shù)R2=0.91，r=0.95,。
OPC-6510與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備測量值對比圖表
OPC-6510與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備線性相關(guān)性分析圖表
4,、滿足ISO14644-1:2015、新版GMP,、JJF1190-2008,、GB/T6167-2007 標(biāo)準(zhǔn)
四方光電塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測性能符合國家計(jì)量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)程的技術(shù)要求以及多種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)，同時我司也可以向企業(yè)用戶提供核心粒子計(jì)數(shù)傳感器及解決方案,，協(xié)助客戶通過整機(jī)的計(jì)量認(rèn)證,。
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