前言：
隨著新能源鋰電池,、半導體,、生物制藥、液晶面板等領域的快速發(fā)展,，對生產環(huán)境的潔凈度提出了更高的要求,，有效控制潔凈室空氣中的塵埃粒子濃度至關重要,。按照國家相關規(guī)定，潔凈室在設計,、建造以及交付運行以后,，都需要對其性能和合理性進行綜合評價分析。那么,，企業(yè)為了滿足生產條件搭建符合標準要求的潔凈室環(huán)境,，該如何實現對塵埃粒子的監(jiān)測呢?
以往客戶僅在項目驗收時采用手持式塵埃粒子計數器針對作業(yè)廠區(qū)內相關區(qū)域進行潔凈度檢測，而工程驗收合格投入使用后,，則只會定期安排人工進行抽查巡檢,，這樣的做法會帶來一系列的問題。
傳統(tǒng)手持式塵埃粒子計數器存在的問題及風險
1,、增加了企業(yè)的潔凈成本,。
人工監(jiān)測將給潔凈廠房帶來額外的人員和設備，增加了潔凈負荷,。有些企業(yè)為了能夠確保潔凈室作業(yè)環(huán)境持續(xù)可靠,，會連續(xù)不間斷高功率運行FFU風機，這樣做不僅會加快濾網,、風機等的壽命消耗,，也帶來了能源的浪費。
2,、人工監(jiān)測缺乏采樣點和采樣時間的固定性,。
在手工操作下，前后兩次采樣點的位置很難保證在同一點,，采樣的時間也不能保證在不同班次或日期的同一個相對或時刻,。因此，監(jiān)測數據之間很難產生相對的聯(lián)系,，沒有可比性，不利于判斷系統(tǒng)運行的長期趨勢,。
3,、定期檢測無法覆蓋所有污染超標風險。
在生產過程中環(huán)境的情況往往是變化的,，原材料的進出,、人員的更換以及產品的變化都將對潔凈室的潔凈程度有所影響。往往在一個班次開始時環(huán)境是滿足要求的,，而在結束時發(fā)現塵埃粒子數超出了標準,。由于人工監(jiān)測無法提供連續(xù)監(jiān)測數據，因此無法估計系統(tǒng)是在何時偏離了規(guī)定工況,，更無法估計產品的質量情況,。這就無法保證潔凈室潔凈度,，進而影響產品的良率和質量。
塵埃粒子計數器升級在線監(jiān)測的必要性
1,、標準對在線監(jiān)測的要求,。
新版GMP在硬件要求方面，提高了部分生產條件的標準,，增加了在線監(jiān)測的要求,，特別對懸浮塵埃粒子，也就是生產環(huán)境中的懸浮微粒的靜態(tài),、動態(tài)監(jiān)測,，對浮游菌、沉降菌(生產環(huán)境中的微生物)和表面微生物的監(jiān)測都作出了詳細的規(guī)定,。
2,、實現智能自動控制，無需人工參與,。
在線塵埃粒子計數器能夠實時監(jiān)測潔凈室內懸浮顆粒的個數并及時報警;并具備能夠與FFU風機等凈化設備智能聯(lián)動的功能,，始終將環(huán)境內懸浮塵埃粒子個數維持在標準要求的較低范圍內，從而將FFU風機設備的能耗和損耗控制在較低水平,。
3,、覆蓋整個生產過程，降低污染風險,。
7*24小時的連續(xù)不間斷監(jiān)測,，保證產品在全流程生產工序中免受污染，提升產品質量,，降低不良率風險,。
在線塵埃粒子計數器面臨的挑戰(zhàn)
1、連續(xù)不間斷運行,，對壽命的要求,。
傳統(tǒng)手持式設備多采用氣泵進行采樣，而氣泵的壽命一般僅有幾千小時,，而且成本較高,，噪音較大。而且氣泵在運行一段時間后會存在機械磨損,，造成對潔凈室環(huán)境的污染,。
2、連續(xù)不間斷運行,，對數據穩(wěn)定性和可靠性的要求,。
塵埃粒子計數器在長期運行的過程中，會由于光源的老化及采樣氣泵的磨損,，導致測量準確度發(fā)生漂移,。由于手持式塵埃粒子計數器可以在每次使用前采用調零器進行校準,，而在線塵埃粒子計數器由于安裝位置的局限，無法實現頻繁的調零動作,，這需要在線粒子計數器滿足免維護的要求,。
3、多點分布式安裝,，對設備系統(tǒng)及施工安裝的要求,。
潔凈室在線監(jiān)測系統(tǒng)，是一套實時監(jiān)測潔凈區(qū)域潔凈度的在線監(jiān)控管理系統(tǒng),，對潔凈室內的多個傳感器進行管理,。包括遠程控制、數據儲存,、歷史數據查詢,、數據分析和趨勢圖，當被監(jiān)測區(qū)域一旦超出限定值系統(tǒng)將自動報警,。
四方光電塵埃粒子計數器：潔凈室在線監(jiān)測解決方案
四方光電基于12年光散射技術的研究與創(chuàng)新,，推出了在線塵埃粒子計數器OPC-6500F、OPC-6303M和OPC-6510,，以及核心零部件激光塵埃粒子計數傳感器PM5000S,、PM3003NS和PM5100，可廣泛應用于百級,、千級,、萬級、十萬級等潔凈室環(huán)境,。
1,、低噪音渦輪風機采樣，7*24小時連續(xù)監(jiān)測穩(wěn)定性好,。
四方光電在線塵埃粒子計數器OPC-6510采用大流量渦輪風扇采樣,，相對氣泵采樣有更好的穩(wěn)定性，以及壽命表現,，能夠滿足10年連續(xù)工作需求,。
2、28.3L恒流采樣,，確保長期數據穩(wěn)定性。
在線塵埃粒子計數器OPC-6510內置超聲波流量傳感器,，能夠快速準確的監(jiān)測采樣流量,，實時進行反饋調節(jié)，消除了氣泵長時間運行后采樣流量衰減的影響,，保證在線塵埃粒子計數器在長期運行過程中的28.3L/min氣泵恒流采樣,。
3,、數據精準，與標準儀器設備線性相關性R2>0.9,。
為了驗證在線塵埃粒子計數器是否能夠滿足實際應用需求,，四方光電將樣品送到韓國第三方測試機構進行了OPC6510與標準設備委托對比測試，測試數據表明,，OPC6510與標準設備線性相關系數R2=0.91,，r=0.95。
OPC-6510與標準設備測量值對比圖表
OPC-6510與標準設備線性相關性分析圖表
4,、滿足ISO14644-1:2015,、新版GMP、JJF1190-2008,、GB/T6167-2007 標準
四方光電塵埃粒子計數器檢測性能符合國家計量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規(guī)范》規(guī)程的技術要求以及多種國內外標準,，同時我司也可以向企業(yè)用戶提供核心粒子計數傳感器及解決方案，協(xié)助客戶通過整機的計量認證,。
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