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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 綜合 |
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VPS-RF210 大型真空等離子體清洗設備簡介:
VPS-RF210是一款大型真空等離子體清洗設備,,適用于大批量工業(yè)生產(chǎn)使用,。等離子體清洗通過其中的活性離子與物體表面發(fā)生化學反應來達到清洗的目的。例如通過氧氣清潔物體表面的有機物,,產(chǎn)生氧化反應,氧等離子體和污染物產(chǎn)生二氧化碳,、氧化碳和水,。通過氮氣電離形成的等離子體可以與部分子結構發(fā)生關鍵反應,因此它也是一種活性氣體,,但與氧氣和氫氣相比,,顆粒相對較重;在清洗和活化的同時,,可以達到一定的轟擊和蝕刻效果,,防止部分金屬表面氧化。如今,,等離子清洗機廣泛用于當代半導體,、電路等行業(yè),在元件封裝前,、芯片鍵合前可借助等離子清洗處理,,其優(yōu)點是清除效率高,不會對樣品表面造成損傷,,從而提升產(chǎn)品的質量,。
VPS-RF210 大型真空等離子體清洗設備特點:歐美放電技術,專業(yè)型放電結構,科學仿真等離子體分布均勻,,處理效果均勻,。
產(chǎn)品應用:提高親水性、改善粘接性,、表面微刻蝕,、有機物去除、提高表面能,、提高印刷油墨附著力,。
產(chǎn)品參數(shù):
型號 | VPS-RF210 |
等離子頻率 | 13.56MHz 自動阻抗匹配 |
極限真空度 | 10-100Pa |
功率 | 0-1000W連續(xù)可調(diào) |
腔體材質 | 進口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選) |
腔體尺寸 | 600(W)*600(D)*600(H)mm |
腔體容積 | 210L |
單層有效處理面積 | W560mm x D520mm |
氣路數(shù)量 | 2路氣體,支持氧氣,,氬氣,,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制) |
處理層數(shù) | 8層(可定制) |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
真空泵 | 油泵/干泵(可選) |
電源 | AC380V,50/60Hz |