YAMADA山田光學(xué)晶圓審核標(biāo)準(zhǔn)光源箱 YAMADA山田光學(xué)晶圓審核標(biāo)準(zhǔn)光源箱

半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的專(zhuān)業(yè)照明設(shè)備,，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮?。◤奈⒚准?jí)發(fā)展到現(xiàn)在的納米級(jí)）,，對(duì)晶圓表面缺陷的檢測(cè)要求越來(lái)越高,，專(zhuān)業(yè)的檢查照明系統(tǒng)成為確保芯片良率的關(guān)鍵因素之一。

現(xiàn)代半導(dǎo)體晶圓檢查燈采用優(yōu)良的光學(xué)技術(shù)和精密的光源設(shè)計(jì),，能夠提供均勻,、穩(wěn)定且特定波長(zhǎng)的高質(zhì)量照明，幫助檢測(cè)人員或自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)識(shí)別晶圓表面的微粒污染,、劃痕,、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況,。這些設(shè)備通常集成在潔凈室環(huán)境中,，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

半導(dǎo)體晶圓檢查燈的特點(diǎn)

1. 精密光譜控制

半導(dǎo)體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力,，可提供特定波長(zhǎng)的單色光或多色光組合,。不同波長(zhǎng)的光對(duì)各類(lèi)缺陷的顯現(xiàn)效果不同，例如短波長(zhǎng)光（如紫外或深藍(lán)光）對(duì)微小顆粒和表面拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)更敏感,，而長(zhǎng)波長(zhǎng)光可能更適合檢測(cè)某些薄膜缺陷,。

2. 高均勻性照明

檢查燈設(shè)計(jì)確保照明區(qū)域內(nèi)的光強(qiáng)分布高度均勻，通常均勻性可達(dá)90%以上,，避免因照明不均導(dǎo)致的檢測(cè)誤差,。優(yōu)良的導(dǎo)光技術(shù)和光學(xué)擴(kuò)散系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這一特性的關(guān)鍵。

3. 可調(diào)光強(qiáng)與穩(wěn)定輸出

設(shè)備提供寬范圍的光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能,，同時(shí)保持出色的光強(qiáng)穩(wěn)定性（通常波動(dòng)小于1%）,，確保長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)過(guò)程中的一致性，避免因光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的誤判,。

4. 多角度照明設(shè)計(jì)

專(zhuān)業(yè)的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項(xiàng),，包括同軸光、環(huán)形光,、側(cè)向光,、暗場(chǎng)照明等不同模式，以適應(yīng)不同類(lèi)型缺陷的檢測(cè)需求,。例如,，同軸光適合表面污染檢測(cè)，而暗場(chǎng)照明對(duì)劃痕和拓?fù)淙毕莞舾小?/span>

5. 潔凈室兼容性

檢查燈采用無(wú)塵設(shè)計(jì),，材料選擇上避免產(chǎn)生微粒污染,，符合ISO 14644-1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)具備低發(fā)熱特性,，減少熱對(duì)流對(duì)潔凈室氣流的影響,。

6. 智能化控制

現(xiàn)代設(shè)備配備數(shù)字控制系統(tǒng)，支持預(yù)設(shè)照明方案,、自動(dòng)調(diào)節(jié),、遠(yuǎn)程控制等功能,，并能與自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)無(wú)縫集成，實(shí)現(xiàn)高效的工作流程,。

YAMADA山田光學(xué)晶圓審核標(biāo)準(zhǔn)光源箱YP-150I

YAMADA山田光學(xué)高亮度鹵素光源設(shè)備YP-150I  

YAMADA山田光學(xué)高亮度鹵素光源設(shè)備YP-250I  

YP-150I 高亮度鹵素射鏡

用于Si薄片,，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測(cè)出來(lái)

銷(xiāo)售各類(lèi)日系工業(yè)品:tokyokeiso東京計(jì)裝（流量計(jì)）,，kofloc科賦樂(lè)（流量計(jì)），onosokki小野測(cè)器（汽車(chē)轉(zhuǎn)速表）,，yamada山田鹵素（強(qiáng)光燈）,SSD西西蒂(離子風(fēng)扇),、AND愛(ài)安得（電子天平）、SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機(jī),USHIO牛尾照度計(jì),Tsubosaka壺坂電機(jī),IMV愛(ài)睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機(jī),lambda拉姆達(dá)膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀,、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設(shè)備,、顯影）、POLARION普拉瑞,、AITEC艾泰克（檢查光源）,、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）,、KOSAKA小坂（臺(tái)階儀）,、HORIBA堀場(chǎng)儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測(cè)定）,、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）,、CEDAR思達(dá)