目錄:蘇州費(fèi)馬科儀自動(dòng)化技術(shù)有限公司>>電鏡制樣設(shè)備>>噴金噴碳一體機(jī)>> FSEM AC200噴金噴碳一體機(jī)
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更新時(shí)間:2025-06-17 16:52:40瀏覽次數(shù):133評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
應(yīng)用簡(jiǎn)介
如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質(zhì)量的樣本成像,,樣本需要具有導(dǎo)電性,以避免電荷聚積,。如果樣本沒(méi)有足夠高的導(dǎo)電性,您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導(dǎo)電層,。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法,。 這類鍍膜既可以保護(hù)樣本,增強(qiáng)電子顯微成像的對(duì)比度,,又可以作為小規(guī)模樣本的透射電鏡載網(wǎng)支撐膜,。
設(shè)備概述
FSEM AC200噴金噴碳一體機(jī)適用于常規(guī)SEM和TEM分析。該設(shè)備是全自動(dòng)系統(tǒng),,從而使操作變得極為簡(jiǎn)便,。秉承人體工學(xué)設(shè)計(jì)理念的同時(shí),緊湊的外觀設(shè)計(jì)和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室空間,。儀器為全閉環(huán)真空設(shè)計(jì),,配有全量程皮拉尼真空計(jì)等多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài),保證儀器安全穩(wěn)定運(yùn)行,。采用高性能旋葉真空泵,,快速獲得<1Pa的真空環(huán)境,高精度的電源采用恒流控制,,鍍膜更純,,膜厚更精準(zhǔn),,結(jié)果重復(fù)性更好。
產(chǎn)品特點(diǎn)
◇ 設(shè)計(jì)美觀,,操作簡(jiǎn)單,,界面友好、一鍵鍍膜,;
◇ 雙靶位設(shè)計(jì),,可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電金屬或碳涂層;
◇ 采用大樣品倉(cāng),,可進(jìn)行快速制樣,,樣品臺(tái)可預(yù)傾斜及旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)可調(diào),;
◇ 可直接放置16個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘型樣品臺(tái),,無(wú)需工作人員介入,節(jié)省人力和時(shí)間,;
◇ 采用ARM架構(gòu),,全自動(dòng)控制,控制精度高,,操作簡(jiǎn)單,;
◇ 低電壓,穩(wěn)定真空環(huán)境,,可濺射多種常用金屬金,、鉑、鈀,、銀等,;
◇ 濺射顆粒可達(dá)納米級(jí)別,,濺射顆粒<5nm制備薄膜致密,,適合高分辨SEM使用;
◇ 采用磁控濺射技術(shù),,利用平面磁場(chǎng)減少溫度的變化,,適用于溫度敏感樣品;
◇ 低電壓,,穩(wěn)定真空環(huán)境,,可適配多種規(guī)格碳材料0.8、1.2,、2.4及碳棒等,;
◇ 采用脈沖電源技術(shù),利用V型結(jié)構(gòu),,更好的碳繩利用率,,制備更薄的導(dǎo)電膜層,;
◇ 配有多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài),保證儀器使用安全,;
◇ 長(zhǎng)期運(yùn)行,,穩(wěn)定可靠,無(wú)需特殊維護(hù),;
◇ 具備開關(guān)機(jī)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)記憶,,修復(fù)長(zhǎng)期應(yīng)用偏差;
◇ 儀器可全自動(dòng)控制,,更方便用戶實(shí)現(xiàn)各種自動(dòng)化控制操作,;
◇ 軟件遵循GMP規(guī)范,方便實(shí)現(xiàn)用戶管理,,使用記錄等功能,。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào) | FSEM AC200 |
濺射類型 | 低壓磁控平面濺射 |
靶材尺寸 | 雙靶位靶材,靶材直徑32mm,,V型碳繩結(jié)構(gòu) |
控制模式 | 5寸觸摸屏全自動(dòng)程序控制 |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械旋葉泵,,極限真空<1Pa真空抽速1L/s |
真空測(cè)量 | 全量程皮拉尼數(shù)字真空計(jì) |
工作真空 | 2-8Pa,真空精度可達(dá)0.1Pa |
樣品臺(tái) | 可升降傾斜旋轉(zhuǎn),,可放置16個(gè)標(biāo)準(zhǔn)釘型臺(tái),,直徑可達(dá)100mm |
濺射電源 | 恒流磁控DC濺射電源300-600V,Max50mA控制精度可達(dá)1mA |
濺射時(shí)間 | ≤600s,,控制精度1s |
蒸發(fā)電源 | 恒壓脈沖DC蒸發(fā)電源0-80A,Max 10V控制精度可達(dá)0.1V |
脈沖頻率 | 100ms-1s,,具備預(yù)熱除氣功能 |
真空腔室 | φ160×120mm |
供電要求 | 200-240VAC 50Hz,功率1500W |
外形尺寸 | 520×360×380mm |
配置清單
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 |
1. | 噴金噴碳一體機(jī)主機(jī) | FSEM AC200 | 1臺(tái) |
2. | 濺射靶材金靶 | φ32×0.1mm | 1個(gè) |
3. | 高純碳繩 | φ0.8×1m | 1根 |
4. | 真空管路 | KF16-1.2m | 1根 |
5. | 機(jī)械真空泵 | VRD-4 | 1臺(tái) |
6. | 合格證,、保修卡,、說(shuō)明書、裝箱單 | / | 1套 |
服務(wù)承諾
1,、產(chǎn)品到達(dá)貴公司后,我公司工程師可在貴公司準(zhǔn)備好設(shè)備所需外部條件(如水,、電,、氣等)后,負(fù)責(zé)該設(shè)備的安裝,、調(diào)試,、啟動(dòng)工作,并提供良好的技術(shù)支持和售后服務(wù),,同時(shí)對(duì)貴公司使用人員進(jìn)行設(shè)備使用培訓(xùn),,保證受訓(xùn)人員能夠獨(dú)立、熟練操作設(shè)備和完成簡(jiǎn)單的維修工作,、設(shè)備日常維護(hù)工作,?!飶?fù)雜設(shè)備,此項(xiàng)工作在用戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行,,簡(jiǎn)單設(shè)備,,此項(xiàng)工作遠(yuǎn)程視頻指導(dǎo)進(jìn)行,具體按照雙方合同條款執(zhí)行,。
2,、我公司產(chǎn)品在貴公司負(fù)責(zé)人驗(yàn)收合格書上簽字之日起計(jì)算,免費(fèi)保修壹年,。在免費(fèi)保修期內(nèi),,產(chǎn)品發(fā)生非人為質(zhì)量問(wèn)題,我公司為貴公司提供免費(fèi)維修,。如產(chǎn)品在免費(fèi)保修期外出現(xiàn)故障,,維修服務(wù)只適當(dāng)收取人工費(fèi)與材料成本費(fèi),并采取“先維修后付費(fèi)"的原則,。
3,、我司擁有全國(guó)客戶支持中心,通過(guò)電話及視頻通話及時(shí)幫助全國(guó)客戶解答問(wèn)題,,擁有一支訓(xùn)練有素的工程師隊(duì)伍為全國(guó)各地的客戶提供優(yōu)質(zhì),、快速的上門服務(wù)。我司在接到貴方的故障通知后,,保證在 0.5 小時(shí)內(nèi)做出響應(yīng),,如有需要,確保在12小時(shí)內(nèi)到達(dá)客戶現(xiàn)場(chǎng)排除故障,。
4,、我公司承諾在該設(shè)備的使用期間,可無(wú)償,、無(wú)限期地提供該設(shè)備的技術(shù)支持工作,。
5、我公司承諾提供免費(fèi)軟件升級(jí)服務(wù)(如涉及),。
6,、我司工程師長(zhǎng)期免費(fèi)為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協(xié)助。
7,、我司有完善的配套耗材體系,,客戶有新材料需要制樣時(shí),免費(fèi)為客戶提供合適的耗材進(jìn)行測(cè)試,。
8,、由于我司和SGS、華測(cè)檢測(cè)、上海機(jī)械協(xié)會(huì)失效分析委員會(huì),、上海市電子學(xué)會(huì)SMT/MPT專委會(huì),、北京科技大學(xué)、蘇州大學(xué)等行業(yè)三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)有深入合作,,我方承諾為客戶失效分析實(shí)驗(yàn)室提供長(zhǎng)期免費(fèi)咨詢服務(wù)和引薦服務(wù),。
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