目錄:蘇州費馬科儀自動化技術(shù)有限公司>>電鏡制樣設(shè)備>>噴金儀>> FSEM AA200雙靶位噴金儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
u應(yīng)用簡介
如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質(zhì)量的樣本成像,，樣本需要具有導電性，以避免電荷聚積,。如果樣本沒有足夠高的導電性,，您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導電層。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法,。 這類鍍膜既可以保護樣本,，增強電子顯微成像的對比度，又可以作為小規(guī)模樣本的透射電鏡載網(wǎng)支撐膜,。
u設(shè)備概述
FSEM AA200雙靶位噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析,。該設(shè)備是全自動系統(tǒng)，從而使操作變得極為簡便,。秉承人體工學設(shè)計理念的同時,，緊湊的外觀設(shè)計和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實驗室空間。FSEM系列噴金儀為全閉環(huán)真空設(shè)計,，配有全量程皮拉尼真空計等多個傳感器實時監(jiān)控運行狀態(tài),，保證儀器安全穩(wěn)定運行。采用高性能旋葉真空泵,，快速獲得＜1Pa的真空環(huán)境,，高精度的濺射電源采用恒流控制，鍍膜更純,，膜厚更準,，結(jié)果重復性更好。
u產(chǎn)品特點
◇ 設(shè)計美觀,，操作簡單,，界面友好、一鍵鍍膜
◇ 雙靶位設(shè)計,，無需更換靶材,，可實現(xiàn)疊層工藝
◇ 采用抽大樣品倉，可進行快速制樣,，樣品臺可預(yù)傾斜及旋轉(zhuǎn),，旋轉(zhuǎn)可調(diào)
◇ 可直接放置16個標準釘型樣品臺，無需工作人員介入,，節(jié)省人力和時間
◇ 采用ARM架構(gòu),，全自動控制，控制精度高,，操作簡單
◇ 低電壓,，穩(wěn)定真空環(huán)境,，可濺射多種常用金屬金、鉑,、鈀,、銀等
◇ 濺射顆粒可達納米級別,，濺射顆粒＜5nm制備薄膜致密,，適合高分辨SEM使用
◇ 采用磁控濺射技術(shù)，利用平面磁場減少溫度的變化,，適用于溫度敏感樣品
◇ 配有多個傳感器實時監(jiān)控運行狀態(tài),，保證儀器使用安全
◇ 長期運行，穩(wěn)定可靠,，無需特殊維護
◇ 具備開關(guān)機數(shù)據(jù)存儲記憶，修復長期應(yīng)用偏差
◇ 儀器可全自動控制,，更方便用戶實現(xiàn)各種自動化控制操作
◇ 軟件遵循GMP規(guī)范,，方便實現(xiàn)用戶管理，使用記錄等功能
u技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號 | FSEM AA200 |
濺射類型 | 低壓磁控平面濺射 |
靶材尺寸 | 雙靶位靶材,，靶材直徑32mm |
控制模式 | 5寸觸摸屏全自動程序控制 |
真空系統(tǒng) | 機械旋葉泵,，極限真空＜1Pa真空抽速1L/s |
真空測量 | 全量程皮拉尼數(shù)字真空計 |
工作真空 | 2-8Pa，真空精度可達0.1Pa |
樣品臺 | 可升降傾斜旋轉(zhuǎn),，可放置16個標準釘型臺,，直徑可達100mm |
濺射電源 | 雙恒流磁控DC濺射電源300-600V，Max50mA控制精度可達1mA |
濺射時間 | ≤600s,，控制精度1s |
真空腔室 | φ160×120mm |
供電要求 | 200-240VAC 50Hz,，功率900W |
外形尺寸 | 520×360×380mm |
u配置清單
序號 | 名稱 | 規(guī)格 | 數(shù)量 |
1. | 雙靶位噴金儀主機 | FSEM AA200 | 1臺 |
2. | 濺射靶材金靶 | φ32×0.1mm | 1個 |
3. | 濺射靶材鉑靶 | φ32×0.1mm | 1個 |
4. | 真空管路 | KF16-1.2m | 1根 |
5. | 機械真空泵 | VRD-4 | 1臺 |
6. | 合格證、保修卡,、說明書,、裝箱單 | / | 1套 |
u服務(wù)承諾
1、產(chǎn)品到達貴公司后,，我公司工程師可在貴公司準備好設(shè)備所需外部條件（如水,、電、氣等）后,，負責該設(shè)備的安裝,、調(diào)試、啟動工作,，并提供良好的技術(shù)支持和售后服務(wù),，同時對貴公司使用人員進行設(shè)備使用培訓，保證受訓人員能夠獨立,、熟練操作設(shè)備和完成簡單的維修工作,、設(shè)備日常維護工作,。★復雜設(shè)備，此項工作在用戶現(xiàn)場進行,，簡單設(shè)備,，此項工作遠程視頻指導進行，具體按照雙方合同條款執(zhí)行,。
2,、我公司產(chǎn)品在貴公司負責人驗收合格書上簽字之日起計算，免費保修壹年,。在免費保修期內(nèi),，產(chǎn)品發(fā)生非人為質(zhì)量問題，我公司為貴公司提供免費維修,。如產(chǎn)品在免費保修期外出現(xiàn)故障,，維修服務(wù)只適當收取人工費與材料成本費，并采取“先維修后付費"的原則,。
3,、我司擁有全國客戶支持中心，通過電話及視頻通話及時幫助全國客戶解答問題,，擁有一支訓練有素的工程師隊伍為全國各地的客戶提供優(yōu)質(zhì),、快速的上門服務(wù)。我司在接到貴方的故障通知后,，保證在 0.5 小時內(nèi)做出響應(yīng),，如有需要，確保在12小時內(nèi)到達客戶現(xiàn)場排除故障,。
4,、我公司承諾在該設(shè)備的使用期間，可無償,、無限期地提供該設(shè)備的技術(shù)支持工作,。
5、我公司承諾提供免費軟件升級服務(wù)（如涉及）,。
6,、我司工程師長期免費為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協(xié)助。
7,、我司有完善的配套耗材體系,，客戶有新材料需要制樣時，免費為客戶提供合適的耗材進行測試,。
8,、由于我司和SGS、華測檢測,、上海機械協(xié)會失效分析委員會,、上海市電子學會SMT/MPT專委會,、北京科技大學、蘇州大學等行業(yè)三方檢測機構(gòu)和學術(shù)機構(gòu)有深入合作,，我方承諾為客戶失效分析實驗室提供長期免費咨詢服務(wù)和引薦服務(wù),。
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