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YP-150IYAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈
參考價(jià): 5000
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • YP-150I 產(chǎn)品型號(hào)
  • YAMADA DOBBY/山田 品牌
  • 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

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YAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈 YP-150I
半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的專(zhuān)業(yè)照明設(shè)備,,專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié),。
產(chǎn)品介紹

YAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈 YP-150I


YAMADA山田 半導(dǎo)體晶圓檢查燈 YP-150I

半導(dǎo)體晶圓檢查燈是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的專(zhuān)業(yè)照明設(shè)備,,專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)和質(zhì)量控制環(huán)節(jié),。隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮小(從微米級(jí)發(fā)展到現(xiàn)在的納米級(jí)),,對(duì)晶圓表面缺陷的檢測(cè)要求越來(lái)越高,,專(zhuān)業(yè)的檢查照明系統(tǒng)成為確保芯片良率的關(guān)鍵因素之一。

現(xiàn)代半導(dǎo)體晶圓檢查燈采用先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)和精密的光源設(shè)計(jì),,能夠提供均勻,、穩(wěn)定且特定波長(zhǎng)的高質(zhì)量照明,幫助檢測(cè)人員或自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(AOI)系統(tǒng)識(shí)別晶圓表面的微粒污染,、劃痕,、圖案缺陷、殘留物等各種異常情況,。這些設(shè)備通常集成在潔凈室環(huán)境中,,滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

半導(dǎo)體晶圓檢查燈的特點(diǎn)

1. 精密光譜控制

半導(dǎo)體晶圓檢查燈具備精確的光譜控制能力,,可提供特定波長(zhǎng)的單色光或多色光組合,。不同波長(zhǎng)的光對(duì)各類(lèi)缺陷的顯現(xiàn)效果不同,,例如短波長(zhǎng)光(如紫外或深藍(lán)光)對(duì)微小顆粒和表面拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)更敏感,而長(zhǎng)波長(zhǎng)光可能更適合檢測(cè)某些薄膜缺陷,。

2. 高均勻性照明

檢查燈設(shè)計(jì)確保照明區(qū)域內(nèi)的光強(qiáng)分布高度均勻,,通常均勻性可達(dá)90%以上,避免因照明不均導(dǎo)致的檢測(cè)誤差,。先進(jìn)的導(dǎo)光技術(shù)和光學(xué)擴(kuò)散系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)這一特性的關(guān)鍵,。

3. 可調(diào)光強(qiáng)與穩(wěn)定輸出

設(shè)備提供寬范圍的光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能,同時(shí)保持出色的光強(qiáng)穩(wěn)定性(通常波動(dòng)小于1%),,確保長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)過(guò)程中的一致性,,避免因光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的誤判。

4. 多角度照明設(shè)計(jì)

專(zhuān)業(yè)的晶圓檢查燈常配備多角度照明選項(xiàng),,包括同軸光,、環(huán)形光、側(cè)向光,、暗場(chǎng)照明等不同模式,,以適應(yīng)不同類(lèi)型缺陷的檢測(cè)需求。例如,,同軸光適合表面污染檢測(cè),,而暗場(chǎng)照明對(duì)劃痕和拓?fù)淙毕莞舾小?/p>

5. 潔凈室兼容性

檢查燈采用無(wú)塵設(shè)計(jì),材料選擇上避免產(chǎn)生微粒污染,,符合ISO 14644-1潔凈室標(biāo)準(zhǔn),。同時(shí)具備低發(fā)熱特性,減少熱對(duì)流對(duì)潔凈室氣流的影響,。

6. 智能化控制

現(xiàn)代設(shè)備配備數(shù)字控制系統(tǒng),,支持預(yù)設(shè)照明方案,、自動(dòng)調(diào)節(jié),、遠(yuǎn)程控制等功能,并能與自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)無(wú)縫集成,,實(shí)現(xiàn)高效的工作流程,。



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