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產(chǎn)品應(yīng)用：  

   MAS4-BE光刻系統(tǒng)一體機(jī)可實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用，集成化程度更高,，占地面積更小,。廣泛應(yīng)用于高校研究所實(shí)驗(yàn)的光刻工藝，可完成涂膠,、烘烤,、曝光、顯影工序,。

工藝步驟：

涂膠（放片,、滴膠、旋轉(zhuǎn),、取片）→烤機(jī)（放片,、烘烤、取片）→曝光（放片,、曝光,、取片）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗,、取片）→取片（轉(zhuǎn)移下道工序）,。

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由PC和PLC控制模式，實(shí)時顯示設(shè)備運(yùn)行過程中各工藝功能執(zhí)行情況,。 可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯,，自由修改、編輯,、存儲,、及調(diào)用工藝配方等。

技術(shù)參數(shù)：