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CGSR系列-光學膜厚儀
  • CGSR系列-光學膜厚儀

貨物所在地:安徽合肥市

更新時間:2025-03-22 17:12:22

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( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

本設備利用反射干涉的原理進行無損測量,測量吸收或者透明襯底上薄膜的厚度以及折射率,同時提供樣品反射率,,測量精度達到埃級的分辨率,測量迅速,,操作簡單,,界面友好,測量時間不到1秒,??蓱糜诠庾琛雽w材料,、高分子材料等薄膜層的厚度測量,,在半導體、太陽能,、液晶面板和光學行業(yè)以及科研院所和高校都得到了廣泛的應用和極大的好評,。

測量系統(tǒng)規(guī)格

基本功能:獲取薄膜厚度值以及R、N/K等光譜

光譜分析范圍:380nm-1000nm

測量光斑大?。簶藴?.5mm,,最小0.5mm

膜厚重復性測量精度:0.02nm(100nm 硅基SiO2樣件,100次重復測量)

膜厚精度:0.2%或2nm之間較大者

膜厚測量范圍:15nm-70μm

測量n和k值厚度要求:100nm以上

單點測量時間:≤ 1s

光源:標準鹵燈光源(光源壽命2000小時)

分析軟件:多達數(shù)百種的光學材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫,,并支持用戶自定義光學材料庫,;提供多層各向同性光學薄膜建模仿真與分析功能

樣品臺規(guī)格:

基板尺寸:支持樣件尺寸到150*150mm(可升級定制不同尺寸樣品臺)

測控與分析軟件

光譜測量能力:反射率光譜測量

數(shù)據(jù)分析能力:膜厚分析能力,光學常數(shù)(折射率和消光系數(shù))

支持常用光學常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型,、洛倫茲模型,、高斯模型等);

支持用戶自定義,,可離線分析軟件模擬實際測量,,支持Windows 10操作系統(tǒng)




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