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當前位置:> 供求商機> CGSR系列-光學膜厚儀
測量系統(tǒng)規(guī)格
基本功能:獲取薄膜厚度值以及R、N/K等光譜
光譜分析范圍:380nm-1000nm
測量光斑大?。簶藴?.5mm,,最小0.5mm
膜厚重復性測量精度:0.02nm(100nm 硅基SiO2樣件,100次重復測量)
膜厚精度:0.2%或2nm之間較大者
膜厚測量范圍:15nm-70μm
測量n和k值厚度要求:100nm以上
單點測量時間:≤ 1s
光源:標準鹵燈光源(光源壽命2000小時)
分析軟件:多達數(shù)百種的光學材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫,,并支持用戶自定義光學材料庫,;提供多層各向同性光學薄膜建模仿真與分析功能
樣品臺規(guī)格:
基板尺寸:支持樣件尺寸到150*150mm(可升級定制不同尺寸樣品臺)
測控與分析軟件
光譜測量能力:反射率光譜測量
數(shù)據(jù)分析能力:膜厚分析能力,光學常數(shù)(折射率和消光系數(shù))
支持常用光學常數(shù)模型以及常用振子模型(柯西模型,、洛倫茲模型,、高斯模型等);
支持用戶自定義,,可離線分析軟件模擬實際測量,,支持Windows 10操作系統(tǒng)
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