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MSD-150D主要應用于曝光后的顯影工藝,。該設(shè)備主要由顯影腔單元,、自動擺臂單元,、 以及供液系統(tǒng)、主軸系統(tǒng),、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成,，整機采用框架結(jié)構(gòu)，外表為鏡面不銹鋼,，無塵且不吸附顆粒,，工作方式為手動上下片，自動完成顯影工藝,。
顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式,，采用進口伺服電機，保證轉(zhuǎn)速,、加速度,、控制精度高，重復性好,；供液系統(tǒng)采用廠務或者壓力容器直接供液方式,。
控制系統(tǒng)由觸摸屏和