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合肥重光電子科技有限公司
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HPR-12-12寸烤膠機(jī)
  • HPR-12-12寸烤膠機(jī)

貨物所在地:安徽合肥市

更新時(shí)間:2025-03-22 12:05:22

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HPR-12廣泛應(yīng)用于物理、材料冶金,、高分子聚合物,、生命科學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。在科研方面隨著近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,,針對(duì)旋轉(zhuǎn)涂膠后,、曝光后的烘烤、顯影后的堅(jiān)膜等工藝流程提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障,。

   標(biāo)準(zhǔn)型烤膠機(jī)廣泛應(yīng)用于物理,、材料冶金、高分子聚合物,、生命科學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域,。在科研方面隨著近幾年太陽(yáng)能電池效率屢創(chuàng)新高、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,,在此背景根據(jù)不同用途本公司開(kāi)發(fā)HPR系列加熱產(chǎn)品,。此款烤膠機(jī)是針對(duì)半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計(jì),加熱模式可選擇手動(dòng)控溫或軟件控溫,。具有升降樣品控制系統(tǒng),,適用多種尺寸硅片,使得樣品在高溫下快速降溫,。采用大功率加熱,,加熱速度塊,發(fā)熱效率高,;


產(chǎn)品參數(shù):

烤膠機(jī)

供電電壓

AC220V,50Hz

控溫方式

PID


處理尺寸

Up to Ф300mm wafer

功率

3200W


溫度

室溫-300℃

升溫速率

1-20℃/min,,可控


溫度均勻性

≤±2%

面板尺寸

330*330mm


控溫精度

±0.2℃

重量

20KG


面板材質(zhì)

鋁合金表面鍍陶瓷

整機(jī)尺寸

380mm*590mm*198mm


時(shí)間

9999S

編程

40段




可提供定制抽真空、充氣氛,,更多選擇可咨詢


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