HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質量流量控制器

產品概述

HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列,，專為半導體制造,、精密化工和高純氣體工藝控制而設計,。其具備多氣體、多量程配置功能,，支持 DeviceNet 通信協議,，適配各種工業(yè)自動化控制系統。

主要特點

• 多氣體/多量程配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍（例如3 SLM,、5 SLM,、10 SLM）。

• 高精度控制：在全量程范圍內提供 ±1% 設定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度,。

• 快速響應：<1 秒的響應時間,，有效提高工藝控制效率。

• 金屬密封結構：全不銹鋼氣體接觸部分,，適用于超高純應用,。

• 靈活通信接口：內建 DeviceNet 通訊，部分版本支持模擬信號與 EtherCAT®,。

• 結構緊湊,，安裝靈活：C-Seal 安裝接口，適配各類設備集成,。

技術參數

• 支持的流量范圍為多種滿量程配置,，常見有 3 SLM、5 SLM,、10 SLM,，可根據客戶需求定制。

• 支持的氣體類型包括氮氣（N?）,、氧氣（O?）,、氬氣（Ar）、硅烷（SiH?）等,，具備多氣體切換功能,。

• 控制精度為 ±1.0% 設定值（S.P.）或 ±0.25% 滿量程（F.S.）,，兩者取其較大值。

• 響應時間小于等于 1 秒,，可滿足高動態(tài)響應需求,。

• 采用壓電陶瓷控制閥，常閉型（Normally Closed）,，具備較高的穩(wěn)定性和安全性,。

• 氣體接觸材質為 SUS316L 不銹鋼，接口為 C-Seal 全金屬密封,，適用于高純氣體控制。

• 內置DeviceNet™ 通信接口,，符合 ODVA 標準,，部分型號支持模擬信號或 EtherCAT® 接口，便于集成,。

• 電源要求為 DC 24V,，最大功耗為約 4 VA。

• 推薦的工作環(huán)境為溫度 5～40℃,，環(huán)境應潔凈干燥以確?？刂凭群蛪勖?/p>

應用領域

• 半導體光刻/刻蝕/沉積氣體控制

• 精細化工過程流量管理

• 光電器件生產

• 實驗室高純氣體流量監(jiān)測與控制