XF-100 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 XF-100 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計是一款專為半導體制造等高精度流體控制場景設計的儀器,。該系列采用壓差測量原理，具備快速響應,、高精度和潔凈設計等特點,，適用于對液體流量控制要求嚴格的工藝環(huán)境。

主要技術特點

• 測量原理：基于壓差法,，能夠在 100 毫秒內(nèi)實現(xiàn)高速響應,；若與壓電閥組合使用，響應時間可縮短至 0.8 秒以內(nèi),。

• 測量精度：±0.8% 滿量程,，適用于高精度流量控制需求。

• 潔凈設計：采用超潔凈結構,，滿足半導體等對潔凈度要求較高的應用場景,。

• 應用領域：主要用于半導體工藝中的液體流量監(jiān)控與控制，如光刻,、蝕刻,、薄膜沉積等環(huán)節(jié)。

型號與規(guī)格

典型應用場景

• 半導體制造中的光刻,、清洗,、涂膠等工藝液體控制

• 光電顯示產(chǎn)業(yè)的液體配比系統(tǒng)

• 微流控與化學反應控制設備

• 高精度試劑配液與傳輸

• 激光加工冷卻液精控

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如果您對更大流量范圍或集成控制功能有需求，HORIBA 還提供 LF-F/LV-F 系列液體質(zhì)量流量計/控制器,，適用于更廣泛的工業(yè)應用場景,。

如需進一步了解 XF-100 系列的應用案例、選型建議或與其他流量計的對比信息,，請告知您的具體需求,，我將為您提供更詳細的資料和建議。