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當(dāng)前位置：曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司>>在線分析儀器>>質(zhì)量流量計>> HORIBA S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號HORIBA S600 BR212/BR222
品 牌HORIBA/堀場
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時間：2025-04-07 17:33:28瀏覽次數(shù)：151次
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HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 3 SCCM到500 SLM |
| 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶自定義設(shè)置） | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應(yīng)時間 | ≤1.5 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet,、EtherCAT,、模擬（0–5V/4–20mA） |
S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā),，是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品,，適用于半導(dǎo)體,、光伏、生物醫(yī)藥,、食品包裝等多個制造領(lǐng)域,。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù)，具備出色的穩(wěn)定性,、精度及通訊能力,，廣泛應(yīng)用于對氣體流量控制要求較高的場合。
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM,，適配各種氣體和工藝需求,。
高控制精度
控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.，響應(yīng)時間小于 1.5 秒,，確保控制過程的高一致性,。
多種通訊接口
支持 RS485,、DeviceNet™、PROFIBUS™,、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出,，便于系統(tǒng)集成。
多供電及密封選項
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,，提供橡膠密封或金屬密封可選,，適應(yīng)不同使用環(huán)境。
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計,，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境,，減少維護頻次。
半導(dǎo)體制造
光刻,、離子注入,、CVD、PVD等氣體控制場合,。
光伏設(shè)備制造
多晶硅擴散,、PECVD等,。
生物制藥行業(yè)
精密氣體反應(yīng)控制、細(xì)胞發(fā)酵培養(yǎng)氣氛調(diào)節(jié),。
食品和飲料
氣調(diào)包裝,、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程,。
工業(yè)爐與熱處理設(shè)備
氣氛控制,，提升熱處理質(zhì)量與一致性。
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