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目錄:北京卓立漢光儀器有限公司>>光機(jī)產(chǎn)品>>電動(dòng)角位移臺(tái)>> 卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列

卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列
  • 卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列
參考價(jià) 200000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
200000
≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 ZOLIX/卓立漢光
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 產(chǎn)品資料 查看pdf文檔
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2025-04-29 16:36:27瀏覽次數(shù):141評(píng)價(jià)

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價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,綜合
卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu),,直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái),。具有高穩(wěn)定度,、高分辨率,精密位移,,大負(fù)載的功能,。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu),,工作過程沒有摩擦, 無灰塵產(chǎn)生,,沒有爬行現(xiàn)象,。產(chǎn)品尺寸較多,可以根據(jù)需要靈活選擇,,該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶,。

卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列產(chǎn)品概述

說明:

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái),。該系列滑臺(tái)具有 高穩(wěn)定度、高分辨率,,精密位移,,大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu),,工作過程沒有摩擦,,無灰塵產(chǎn)生,沒有爬行現(xiàn)象,。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),,齒槽小,分辨率高,,輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位需求,。產(chǎn)品尺寸較多,可以根據(jù)需要靈活選擇,,QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶,。臺(tái)面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要,下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺(tái)連接,,組成多維移動(dòng)臺(tái),。

特點(diǎn):

· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌,運(yùn)動(dòng)無爬行,,直線度好,,負(fù)載可控制, 穩(wěn)定性好,;

· 采用直線電機(jī),,微步能力好,驅(qū)動(dòng)力可控,,速度穩(wěn)定,;

卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列命名規(guī)則:

QF 25-300 S-BNA

QF  系列代碼:

QF:單軸空氣軸承類滑臺(tái)  QFD:XY組合空氣軸承類滑臺(tái)

QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺(tái)

25  臺(tái)面寬度:

25:250mm 30:300mm

300   有效行程:

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S      基座材質(zhì):

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B    分辨率:

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N    電機(jī)類型:

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A    臺(tái)面材質(zhì):

A:鋁合金

T:其它

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,其余配置請(qǐng)聯(lián)系銷售進(jìn)行定制,。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)選項(xiàng)表

型號(hào)

QF25-100A-BNA

QF25-200A-BNA

QF25-300A-BNA

QF25-400A-BNA

臺(tái)面尺寸(mm)

245x200(運(yùn)動(dòng)方向)

厚度(mm)

120

移動(dòng)量(mm)

100

200

300

400

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動(dòng)方式

無鐵芯直線電機(jī)

導(dǎo)軌

一體式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(μm)

0.4

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

2.5

3

3

俯仰(arcsec)

4.5

偏擺(arcsec)

2.1

主體材料及表面處理

鋁合金,,黑色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理

中心負(fù)載(Kg)

10/μm

型號(hào)

QF25-400S-BNA

QF25-500S-BNA

QF25-600S-BNA

QF25-800S-BNA

臺(tái)面尺寸(mm)

290x200(運(yùn)動(dòng)方向)

厚度(mm)

189

移動(dòng)量(mm)

400

500

600

800

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動(dòng)方式

無鐵芯直線電機(jī)

導(dǎo)軌

氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(um)

0.3

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

3

5

5

俯仰(arcsec)

2

偏擺(arcsec)

2

主體材料及表面處理

大理石,鋁合金

中心負(fù)載(Kg)

15/um

說明 :

1.以上測(cè)試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L  控制系統(tǒng)下,,采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下,,采用等級(jí)為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測(cè)試;

2.測(cè)試用氣體0.5MPa 壓縮空氣,,做過濾和除水工藝,;

3.測(cè)試環(huán)境介于萬級(jí)~十萬級(jí)潔凈空間內(nèi);

4.測(cè)試溫度20±1℃,濕度40~60%,。

特點(diǎn)和選型指導(dǎo)

項(xiàng)目

xxxA

xxxS

xxxC

材質(zhì)

鋁合金

大理石

碳化硅陶瓷

導(dǎo)軌長(zhǎng)度(mm)

200~800

400~3000

400~2000

外形尺寸(mm)

超小~中

中~超大

小、中,、大

制作方式

機(jī)加工

磨削

燒制

重復(fù)精度(μm)

0.3

0.3

0.25

直線度(μm)

1~3

2~5

2~3

組合形式

X, XY(小)

X,、XY,、龍門

X、XY,、龍門

造價(jià)(元)

1~10

5~100

50~1000

尺寸圖:

卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列

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