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日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號
- OTSUKA/日本大塚 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：47更新時間：2025-02-22 10:41:21
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- 聯(lián)系人：
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- 網(wǎng)址：
- www.fujita-cn.com
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點,，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息,。...
產(chǎn)品介紹
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
OPTM series 嵌入型
產(chǎn)品信息
特 點
● 膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
● 膜厚值高重復(fù)精度
● 1點1秒以內(nèi)的高速測量
● 最小小點Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
● 適合圖案晶片的膜厚映射
● 能夠取得圖案對準(zhǔn)用圖像
裝置組裝示意圖
測量數(shù)據(jù)示意圖
測量光點周邊圖像
適應(yīng)過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
產(chǎn)品規(guī)格
核心對比與OPTM優(yōu)勢：
技術(shù)差異化：
OPTM系列：基于分光干涉法,，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng)，實現(xiàn)反射率分析,，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu),，技術(shù)解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查,，適用于常規(guī)單層膜厚測量,，但精度與功能擴展性不及OPTM系列,。
應(yīng)用場景：
OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓,、光學(xué)濾光片,；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。
性價比優(yōu)勢：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度,，且操作門檻更低,，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性,。
微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm,，搭配自動XY平臺（200×200mm），實現(xiàn)晶圓,、FPD（如OLED,、ITO膜）等
微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）,、顯示面板（彩色光阻）,、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計，支持粗糙表面,、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析,。
安全與擴展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機制，獨立測量頭支持定制化嵌入,，滿足在線檢測（inline）與實驗室研發(fā)需求,。
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
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