目錄:麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司>>工業(yè)顯微鏡>>探針臺(tái)顯微鏡>> PSM-1000探針臺(tái)顯微鏡
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更新時(shí)間:2025-01-09 14:58:59瀏覽次數(shù):79評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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全新的一體化設(shè)計(jì),具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量,,方便使用的正像光學(xué)系統(tǒng),,是理想的檢測半導(dǎo)體器件的工具,支持3種激光波長,,可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù),。可以廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、電子,、冶金等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域,。
PSM-1000探針臺(tái)顯微鏡描述
● 人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動(dòng),,調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適,。
● 管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV,、1X NIR和2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換,,切換簡單,、方便。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,,1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化,,當(dāng)使用這3個(gè)波長的激光器時(shí),,可以得到更好的激光透過率。
● 光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換,。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí),,雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路,,提高了激光效率,;當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí),雙目頭和攝像接口的分光比為50:50,,此時(shí)即可用雙目頭觀察,,同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
● 偏光觀察
主體上留有偏光插孔,,插上偏光附件(選配件),,可進(jìn)行偏光觀察。
● 調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適,,工作可靠,。調(diào)焦機(jī)構(gòu)最大可承載45磅(20.4Kg),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,,仍然能夠正常工作,。
● 轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙,,可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中,。
● 物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量,。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本,。
● 數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,,安裝在攝像接口上,,組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),就可以在電腦,、電視或監(jiān)視器上同步觀察,。
● 照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源,。長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間,。
● 探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進(jìn)行硅片的測試,。
● 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,,雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補(bǔ)償墊片,。無需專用的激光工具箱,,就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上,。
注:在安裝和使用激光器之前,請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè),。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題,,麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
PSM-1000探針臺(tái)顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)
鉸鏈?zhǔn)饺款^ | 圖像 | 正像 | |
瞳距 | 調(diào)節(jié)范圍 55-75mm | ||
視場直徑 | 24mm | ||
分光比 | 可通過光路切換拉桿自由切換(雙目頭:第三目=100:0或50:50) | ||
管鏡 | 1X(可對(duì)紫外及紅外線進(jìn)行優(yōu)化),,2X | ||
激光的使用 | 拉出光路切換拉桿即可 | ||
可應(yīng)用的激光 | 1064/532/355 nm NWR laser | ||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微調(diào)手輪 | 調(diào)焦行程:50mm,;粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn) | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu)最大承重量 | 20.5kg | ||
攝像接頭 | C-Mount接頭 | ||
照明系統(tǒng) | 同軸垂直照明,,可變孔徑光欄 | ||
冷光源(選配) | 150W冷光源照明器及工業(yè)顯微鏡光纖(2m) | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 四孔物鏡轉(zhuǎn)換器,,中心可調(diào),可拆卸 | ||
物鏡(選配) | 長工作距離平復(fù)消色差物鏡 | 2X, 5X, 10X, 20X, 50X | |
超長工作距離復(fù)消色差物鏡 | 50X, 100X | ||
可調(diào)焦長工作距離復(fù)消色差物鏡 | 2X, 5X, 10X, 20X, 50X | ||
可調(diào)焦超工作距離復(fù)消色差物鏡 | 50X, 100X | ||
NIR超長工作距離復(fù)消色差物鏡 | 20X, 50X | ||
重量 | 主體:6.8kg,;冷光源照明器:2.5kg |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)