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小型電鏡(桌面電鏡)是一種緊湊型,、便攜式的電子顯微鏡,，旨在為用戶提供便捷的微觀觀察和分析功能。與傳統(tǒng)的大型電子顯微鏡相比,，桌面電鏡具有體積小,、操作簡單、成本低等優(yōu)勢,，適合中小型實驗室,、教育機構(gòu)以及工業(yè)現(xiàn)場快速檢測的需求。

NANOS標配二次電子探測器（SED）和背散射電子探測器（BSD）,。BSD具有四分割分別成像功能,，通過使用不同區(qū)域信號的組合，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的成分或形貌細節(jié)獨立成像,，以及通過從多個方向突出顯示表面而具有“投影成像效果”的圖像,。SED則負責收集從樣品表面發(fā)射的電子，提供清晰且高分辨率的表面敏感成像,。SED生成的圖像能夠傳達表面形貌信息,，由于束斑與樣品相互作用體積較小，通常具有更高的分辨率,。

元素分析

NANOS配備了一體式集成硅漂移能量色散X射線探測器（EDS）,。通過用戶界面，用戶可以選擇EDX點分析或?qū)崟r元素面掃描,。

優(yōu)中心樣品臺

NANOS是臺式掃描電鏡標配優(yōu)中心設(shè)計樣品臺,，能夠通過用戶控制界面實現(xiàn)電動XY軸樣品臺移動，在SEM成像模式下可采用優(yōu)中心設(shè)計樣品臺傾轉(zhuǎn)實現(xiàn)樣品傾斜觀察,，且樣品始終保持聚焦狀態(tài),，無需重新對焦,，用戶界面實時顯示精確樣品臺傾斜角度,，最大傾斜角度為55°。

導航相機

NANOS在進樣時,，標配的光學導航相機會自動對樣品進行拍照實現(xiàn)樣品精準導航,。即便在高倍下，用戶可以輕松確定樣品位置,。

低真空成像

NANOS標配低真空成像功能,，低真空成像模式能夠有效減少或消除樣品荷電對成像的影響。當在高真空模式下觀察不導電的樣品時,，電子積聚在樣品表面,，會導致嚴重荷電現(xiàn)象，影響樣品觀察,。NANOS 配備低真空模式以解決此問題,。只需點擊鼠標,，即可輕松從高真空切換到低真空。

用戶操作界面

NANOS軟件界面始終將SEM圖像放在屏幕的中心,，通過直觀的軟件界面進行簡單設(shè)置,，即可完成樣品拍攝。該軟件為僅需快速簡單SEM成像的人提供簡易模式,，同時也為深入進行樣品分析需求提供高級模式,。用戶可以通過無線鼠標和鍵盤控制NANOS，并可以通過iPad實現(xiàn)設(shè)備遠程操控,。導航位置光標始終處于激活狀態(tài),，用戶能夠清楚知道拍攝位置以及方便切換其他拍攝位置。

圖1 – 低真空模式圖像：風干的未鍍膜角堇花瓣

圖2 – SE/BSE混合成像模式,，可任意調(diào)節(jié)和顯示SE和BSE混合成像效果

圖3 – 空心針尖圖像,，傾斜角度為-37°