華爾升真空箱式氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)
半導(dǎo)體行業(yè)氦檢系統(tǒng)
性能介紹：
設(shè)備主要用于半導(dǎo)體行業(yè)自動(dòng)測(cè)漏,，對(duì)缸體典軸箱體,、油道、水道進(jìn)行氣密性檢測(cè),，并具備對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行存健,、工件計(jì)數(shù)、工件識(shí)別等功能，包含1臺(tái)設(shè)備的掃碼,、試離,、通用液壓站，自動(dòng)輸送,、剔料輥道,、儲(chǔ)料系統(tǒng)、安全裝置,。
技術(shù)指標(biāo)：
測(cè)試量程 0～500KPa
測(cè)量精度 1.0×10 Pa·m'/s
測(cè)試方式 氦檢
檢測(cè)節(jié)拍 5s/P
漏率顯示 Pa·m/s,、 mbarl/s、atml/s,、tor/s,、sccm
時(shí)間設(shè)定 999.9秒（最小0.1秒）
掃 碼 支持二維碼掃描
環(huán)境溫度 5～45℃
濕 度 80 %RH 以下，但不結(jié)露
供電電源 220V 50Hz
功 率 3KW
氣 源 0.5～0.7MPa (He和N2)
電池蓋板爆破呼吸耐壓氣檢測(cè)試系統(tǒng)
系統(tǒng)概述：
1.本設(shè)備是針對(duì)電池防爆閥呼吸測(cè)試,。設(shè)備主要具有以下功能：
2.防爆閥呼吸測(cè)試：從外向內(nèi)(測(cè)試壓力,、測(cè)試時(shí)間、測(cè)試次數(shù)系統(tǒng)可調(diào)),；
3.防爆閥呼吸測(cè)試：從內(nèi)向外(測(cè)試壓力,、測(cè)試時(shí)間、測(cè)試次數(shù)系統(tǒng)可調(diào)),；
4.供方根據(jù)藍(lán)本工件尺寸制作一套檢測(cè)工裝,；
5.測(cè)試過程全自動(dòng)完成。
主要技術(shù)參數(shù)：
壓力傳感器量程 0.1-2.0MPa,；分辨率：0.01MPa,；精度；±0.5%
比例閥重復(fù)精度 ±1%以下（量程）
比例閱靈敏度 ±1%以下（量程）
比例閥輸出壓力精度 ±2%以下（量程）
裝 置 電 源 220V,， 50Hz,， 1KW
壓 縮 空 氣 >0.5MPa（氣動(dòng)元件用）
設(shè) 備 重 量 約500kg
設(shè)備外形尺寸 1300（長(zhǎng)）x600（寬）x1500（高）（mm）
散熱器氦檢系統(tǒng)
系統(tǒng)概述：
1.本設(shè)備適用對(duì)換熱器進(jìn)行干式撿漏。主要具有以下邊能,；
2.對(duì)被檢工件保壓檢大漏,；
3.對(duì)被檢工件抽真空并充注氦氣(0～4MPa，此總圍內(nèi)可調(diào)】,；
4.真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè),，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格；
5.不合格工件箱外吸槍尋找漏點(diǎn)功能,；
6.沒備預(yù)留氣國(guó)收接口,；
7.人工掃弱功能，能與MES系統(tǒng)相連,；
8.管道留接口,，以滿足多箱聯(lián)動(dòng)需要,；
9.真空箱外配2套工件車(一備一用》；
10.PLC控制,，摸屏操作,，檢測(cè)過程全自動(dòng)
主要技術(shù)參數(shù)：
檢測(cè)漏率 <2.2×10-7Pa·m3/s 真空箱數(shù)量 1只
檢測(cè)節(jié)拍 5分鐘/件 氦氣壓力 0～4MPa，在此范圍內(nèi)壓力可調(diào)
每箱可檢測(cè)工件數(shù) 1個(gè)
工件進(jìn)出真空箱方式 人工推拉進(jìn)出真空箱
真空箱開關(guān)門方式 垂直提拉式
真空箱內(nèi)腔尺寸及容積 2500（長(zhǎng)）×700（寬）×500（高（單位：mm）,，約875L
系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)：
氦回收率 ≥298%
檢漏儀開檢（真空箱內(nèi)） 壓力≤20Pa
工件抽空壓力 ≤000Pa（壓力向上可調(diào)）
設(shè)備外形尺寸 4900（長(zhǎng)）×4580（寬）×2660（高）（單位：mm）
華爾升真空箱式氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)
充氣環(huán)網(wǎng)柜氦檢系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹：
主要應(yīng)用于電力高壓開關(guān)柜的泄漏檢測(cè),，可配置物料運(yùn)輸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)進(jìn)出箱,，降性人工勞動(dòng)強(qiáng)度,。本設(shè)備適用對(duì)SF6開關(guān)柜/充氣柜/環(huán)網(wǎng)柜進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能：
1.對(duì)被檢工件和真空箱等壓(≤壓差0.05MPa)抽真空,，并保壓檢大漏,；
2.對(duì)被檢工件充注氦氣；
3.真空箱法氦質(zhì)譜檢微漏,、中漏,、檢大漏，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格,；
4.回收并循環(huán)使用氦氣,；
6.充注SF6氣體；
7.對(duì)工件干燥微水處理
8.系統(tǒng)PLC控制,，觸摸屏操作,，檢測(cè)過程全自動(dòng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
檢測(cè)漏率 2.4×10-6Pa·m3/s(0.2%/年,，按工件內(nèi)容積≥300L）
檢測(cè)節(jié)拍 ≤45min/箱（含SFE充法的間小于3min,，接口有效內(nèi)通徑需滿足不小于φ12mm要求，不含人工時(shí)間）
三級(jí)檢漏 檢大漏,、檢中漏,、微小檢漏
檢測(cè)方式 檢整體漏率
安全保護(hù) 光棚保護(hù)、電氣互鎖,、層級(jí)密碼控制,、聲光報(bào)警
經(jīng) 濟(jì) 性 氦氣回收循環(huán)利用、維護(hù)成本低(根據(jù)當(dāng)戶需求可加氦氣提純系統(tǒng))
自動(dòng)化水平 PLC控制,、觸摸屏操作,、自動(dòng)檢測(cè)
汽車零件真空箱氦檢系統(tǒng)
機(jī)械系統(tǒng)：
機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元,，檢漏單元,、清氦單元。
主要技術(shù)參數(shù)：
真空箱數(shù)量 4個(gè)(2大2小) 工件真空 ≦1000Pa（可設(shè)）
工件重量 ≤50（千克） 真空精檢調(diào)真空 ≤20 Pa（可設(shè)）
工件漏率 1×10-5mhar·L/s 系統(tǒng)自漏率 1×10-8mber·L/s
工作節(jié)拍 ≤45s/箱 氦氣本底 ≤1.0×10-6mbar-L/s
箱內(nèi)工件接口數(shù)量 1個(gè) 標(biāo)準(zhǔn)漏孔溫率值 1×10-5mbar-L/s
充氦氣壓力 0-1.GMPa（范國(guó)內(nèi)可調(diào)）箱門開關(guān)方式 自動(dòng)上下直拉開門
充氮?dú)鈮毫?/span> 0-1.0MPa（范圍內(nèi)可調(diào)） 真空箱及送料 半自動(dòng)
氦氣回收率 ≥95% 設(shè)備校準(zhǔn) 可自動(dòng)操作內(nèi)置漏孔校準(zhǔn)
對(duì)工件接口的要求 快卸工裝夾具,，氣缸快壓封堵
真空箱內(nèi)腔尺寸： 大:900（左右）x650（前后）x850(上下）mm,；小：650（左右）x500（前后）x450(上下)mm
其他功能：
1.設(shè)備具有二維碼掃描儲(chǔ)存功能,；
2.設(shè)備泵組采用德國(guó)普發(fā),，壓縮機(jī)采用美國(guó)英格索蘭；
3.對(duì)氦氣濃度,、壓力進(jìn)行監(jiān)控,；
4.具有自動(dòng)清氦功能；
5.設(shè)備具有自動(dòng)監(jiān)控各部分的運(yùn)行狀態(tài)功能,，異常診斷報(bào)警,，并停止設(shè)備運(yùn)行的功能；
6.電氣系統(tǒng)具有自我檢測(cè),、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能,，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行安全可靠和被檢工 件的安全；
7.有自動(dòng),、手動(dòng)兩種操作模式,；
8.真空箱門設(shè)安全光電保護(hù)裝置，確保操作者安全,；
9.系統(tǒng)內(nèi)各部件布置合理,，各易損件易于拆卸、更換,、方便維修,；各滑軌、護(hù)板,、護(hù)欄等設(shè)置美觀大方,。
汽車零部件氦檢系統(tǒng)
系統(tǒng)概述：
1本設(shè)備適用對(duì)膨脹閥進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能：
對(duì)被檢工件充氮?dú)?2-4MPa,，此范圍內(nèi)可調(diào))進(jìn)行耐壓和大漏測(cè)試,；
對(duì)被檢工件抽真空井充注氦氣[2-4MPa，此范向內(nèi)可調(diào))
2真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè),，自動(dòng)判斷工件需率合格與不合格,；
3問收并循環(huán)使用氦氣；
4 PLC控制,，觸摸屏操作,，檢測(cè)過程全自動(dòng)。
設(shè)備特點(diǎn)：
檢漏儀：我公司自主研發(fā)的檢漏儀,，內(nèi)置漏孔,，自動(dòng)校準(zhǔn)，無需人工標(biāo)定,，避免人為操作失誤,，導(dǎo)致檢漏儀損壞或檢漏結(jié)果不準(zhǔn)確,，同時(shí)檢漏儀每次啟動(dòng)都進(jìn)行漏孔自動(dòng)校準(zhǔn)；有效保證檢漏精度,；
操作終端,；我公司采用工控電腦，運(yùn)用本公司自行開發(fā)的上位機(jī)軟件,，具有遠(yuǎn)程監(jiān)控,，在線監(jiān)測(cè)功能，一些簡(jiǎn)單的故障可通過遠(yuǎn)程操控解決,，為用戶節(jié)省更多的售后時(shí)間,；
在實(shí)現(xiàn)觸摸操作的前提下，融入了鼠標(biāo)和鍵盤操作,，避免了單一操作模式的觸摸屏在損壞的情況下不能使設(shè)條正常運(yùn)轉(zhuǎn)的缺陷,；內(nèi)存遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于平板控制器，有效防止歷史數(shù)據(jù)的丟失,。
制冷管氦檢系統(tǒng)
系統(tǒng)概述：
主要應(yīng)用于空調(diào)冷凝管,、蒸發(fā)器、壓縮機(jī)空調(diào)管路等零部件,，大部分采用設(shè)置多工位,、箱外充箱內(nèi)檢和箱內(nèi)充氦箱內(nèi)檢均可以檢漏。
1.本設(shè)備適用對(duì)上工件進(jìn)行干式檢漏,。主要具有以下功能：
2.對(duì)被檢工件進(jìn)行保壓檢大漏,；
3.對(duì)被檢工件抽真空并充注氦氣(0-2.0MPa(G)；
4.真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè),，自動(dòng)判斷工件漏率合格寫不合格,；
5.回收并循環(huán)使用氦氣；
6.PLC控制,，觸摸屏操作,，檢測(cè)過程全自動(dòng)。
技術(shù)參數(shù)：
真空箱數(shù)量 3只 每箱檢測(cè)工件數(shù) 4個(gè)
充氦氣壓力 0-2.0MPa,，在此范圍內(nèi)壓力可調(diào) 真空箱開關(guān)門方式 斜提拉式,，樣式見設(shè)備效果圖
檢測(cè)漏率 R134A，2克/年(約1×10-6Pa·m3/s)
系統(tǒng)檢測(cè)節(jié)拍：12s/件,，檢測(cè)時(shí)序圖見圖,，每箱同時(shí)檢測(cè)4個(gè)工件
氦回收率 ≥98% 檢測(cè)儀開檢（真空箱內(nèi)）壓力 ≤20Pa
工件抽空壓力 ≤1000Pa（壓力向上可調(diào)） 工件進(jìn)出真空箱方式 人工拿取工件進(jìn)出真空箱
設(shè)備外形尺寸 6450*4000*2905mm（長(zhǎng)*寬*高）
真空箱內(nèi)腔尺寸及容積 1200*80*350mm（長(zhǎng)*高*深），約336L
化工儀器網(wǎng)