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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
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IMX-3500-離子注入機(jī)/日本ULVAC
  • IMX-3500-離子注入機(jī)/日本ULVAC

貨物所在地：上海上海市

所在地： 日本

更新時(shí)間：2025-04-29 20:54:46

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中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV,、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī),，非常適合大學(xué)的研發(fā),。

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)


用于研究和開發(fā)的中電流離子注入機(jī)IMX-3500

中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV,、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā),。


特征

  • 最大晶圓尺寸為8英寸,，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。

  • 除了氣體源之外,，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B,、P 和 As 離子的離子源。

  • 高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同,，確保高可靠性,。

規(guī)格

活力30 至 200keV（可選 3 至 200keV）
最大束流11B+ 400μA（200keV)
31P+ 600μA（200keV)
最小束流150納安
離子種類B,、P,、As,、Si、Ge,、Sb,、In 他










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