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霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度,、遷移率、電阻率,、霍爾系數(shù),、導(dǎo)電類型等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具,。

ECOPIA公司的HMS系列霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)主要由恒電流源、范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器,、低溫(77K)測(cè)量系統(tǒng)及磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)組成,，擁有研究半導(dǎo)體材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配置，是一套非常成熟的儀器系統(tǒng),。同時(shí)HMS系列儀器獲得多項(xiàng)霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng),、測(cè)量方法的ZG，代表了霍爾效應(yīng)測(cè)量的全球品質(zhì)及合理的產(chǎn)品價(jià)格,，并為全球客戶所認(rèn)可,。該產(chǎn)品2004年7月通過CE認(rèn)證。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1,、 可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置,，將可以接收的誤差降到zuidi,；范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲,；軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì)，確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測(cè)試的平均值,，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性,。
2、 產(chǎn)品小型化及操作簡(jiǎn)單化
小尺寸的磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測(cè)量系統(tǒng)(77K),，確保儀器操作非常簡(jiǎn)單,；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB),，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量,，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小。
3,、I-V曲線及I-R曲線測(cè)量
采用圖表的方式,，測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A,、B、C,、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系,，并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性,。
4,、 多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration),、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration),、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity),、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient),、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等,。

產(chǎn)品組成：

主機(jī)(精密恒電流源+范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器) / 磁體包(包括樣品板) / 軟件等,。

[HMS-3000軟件界面一]