日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

日本TOHO FLX系列

薄膜應(yīng)力量測設(shè)備FLX系列設(shè)備是由日本TOHO公司所生產(chǎn)的,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)薄膜應(yīng)力的量測,。

測試原理

在硅晶圓或者其他材料基地上附著薄膜，由于襯底于薄膜的物理常數(shù)不同,，將會產(chǎn)生應(yīng)力而導(dǎo)致襯底基板形變,。由于均勻附著的薄膜引起的形變表現(xiàn)為基板翹曲，因此,，可依據(jù)翹曲（曲率半徑）的變化量計(jì)算應(yīng)力,。本薄膜應(yīng)力測量設(shè)備用下述方法測量附著表面上的薄膜引起的基板曲率半徑變化量。

設(shè)備特點(diǎn)

（1）雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源）,，系統(tǒng)可自動選擇匹配之激光源,；

（2）系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng),，便于量測不同溫度下薄膜的應(yīng)力,，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；

（3）自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫,，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫，便于新材料研究,；

（4）形象的軟件分析功能,，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔,；

（5）具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能,；

主要規(guī)格

型號

FLX-2320-S

FLX-2320-R

FLX-3300-T

FLX-3300-R

溫度

溫度范圍

室溫～50O°C

（可選：-65'C~500'C)

室溫

室溫～50O°C

（可選： －65'C~500'C)

室溫

升溫速度

~25'C／分鐘   (Max.)

------

~25'C／分鐘  (Max.)

------

調(diào)節(jié)功能

內(nèi)置調(diào)零機(jī)構(gòu)

------

內(nèi)置調(diào)零機(jī)構(gòu)

------

樣品尺寸

75-200mm

75-200mm

300mm

300mm

掃描范圍

200mm

200mm

300mm

300mm

晶圓繪圖

手動

自動

手動

自動

測量重現(xiàn)性

1.3MPa

晶圓輸送方式

手動

脫附氣體

N2或者Ar氣體

(1.5L／分鐘/0.3kg/cm2）

------

N2或者Ar氣體

(1.5L／分鐘/0.3kg/cm2）