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詳細(xì)介紹
HMS-7000 光電霍爾效應(yīng)測試儀
相比于傳統(tǒng)的變溫霍爾效應(yīng)測試儀,變溫光?;魻栃?yīng)測試儀可以通過改變照射在樣品上的不同波長范圍的光源(紅,、綠,、藍(lán)光源),得出載流子濃度,、遷移率,、電阻率及霍爾系數(shù)等半導(dǎo)體電學(xué)重要參數(shù)隨光源強(qiáng)度變化的曲線。
光學(xué)模塊
通過HMS-7000主機(jī)及霍爾效應(yīng)測試儀軟件控制光源及馬達(dá)自動(dòng)完成測試,,并繪制出載流子濃度,、遷移率、電阻率及霍爾系數(shù)隨光源強(qiáng)度變化的曲線如下:
產(chǎn)品特點(diǎn):
1,、 可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置,,將可以接收的誤差降到zuidi;范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲,;軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì),,確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測試的平均值,使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性,。
2,、 產(chǎn)品小型化及操作簡單化
小尺寸的磁場強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測量系統(tǒng)(77K),確保儀器操作非常簡單,;兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm,、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB),使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量,,區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小,。
3、I-V曲線及I-R曲線測量
采用圖表的方式,,測量探針?biāo)狞c(diǎn)(A,、B、C,、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系,,并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性,。
4,、 多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration),、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration),、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity),、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient),、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。
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