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法國AS-master 真空快速退火爐

標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍室溫 ~ 1450°C

室溫 ~ 1450°C

真空獲得系統(tǒng)

干泵(10-2Torr

分子泵(10-6Torr)

分子泵(10-6Torr)

load lock

尺寸/重量

510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg

可配loadlock

參考客戶：

清華大學(xué)、北京大學(xué),、復(fù)旦大學(xué),、華南理工大學(xué)、天津中電十八所,、南京中電五十五所,、GE上海研發(fā)中心、南方科大,、深圳大學(xué)等,。

大尺寸樣品快速退火爐

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空,、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用,。

儀器特點(diǎn)：

-  快速熱處理,、快速熱退火  RTP / RTA；

-  可在真空,、甚至于高真空環(huán)境使用,；

-  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片,，300mm X 300mm電池片等,；