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德國尤尼坦 大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品 VPO-300

• 產(chǎn)品特點(diǎn)

• 快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備,?？焖偻嘶馉t可以在真空,、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用,。

• 詳細(xì)介紹

• 快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備,。快速退火爐可以在真空,、惰性氣氛,、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。

  VPO-300是一款很有特點(diǎn)的快速退火爐,，有非常大的退火空間,，適合大尺寸樣品的熱處理。

• 儀器特點(diǎn)：

  - 快速熱處理,、快速熱退火 RTP / RTA,；

  - 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用,；

  - 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米,；

  - 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片,，300mm X 300mm電池片等,；