霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度,、遷移率,、電阻率、霍爾系數(shù),、導(dǎo)電類型等重要參數(shù),，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具,。
ECOPIA公司的HMS系列霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)主要由恒電流源,、范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器、低溫(77K)測(cè)量系統(tǒng)及磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)組成,，擁有研究半導(dǎo)體材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配置,，是一套非常成熟的儀器系統(tǒng)。同時(shí)HMS系列儀器獲得多項(xiàng)霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng),、測(cè)量方法的ZG,，代表了霍爾效應(yīng)測(cè)量的品質(zhì)及合理的產(chǎn)品價(jià)格，并為客戶所認(rèn)可,。該產(chǎn)品2004年7月通過(guò)CE認(rèn)證,。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、 可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置,，將可以接收的誤差降到zuidi,；范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲；軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì),，確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測(cè)試的平均值,，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性。
2,、 產(chǎn)品小型化及操作簡(jiǎn)單化
小尺寸的磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測(cè)量系統(tǒng)(77K),，確保儀器操作非常簡(jiǎn)單；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm,、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB),，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小,。
3,、I-V曲線及I-R曲線測(cè)量
采用圖表的方式，測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A,、B,、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系，并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞,、了解樣品的基本的電學(xué)特性,。
4、 多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration),、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility),、電阻率(Resistivity),、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance),、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等,。
產(chǎn)品組成：
主機(jī)(精密恒電流源+范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器) / 磁體包(包括樣品板) / 軟件等。
[HMS-3000軟件界面一]
[HMS-3000軟件界面二(I-V和I-R曲線測(cè)量)]
產(chǎn)品規(guī)格：
1,、 主要儀器參數(shù)
輸入電流：1nA ~ 20mA,；
電阻率：10exp(-5) ~ 10exp7 Ω.cm；
載流子濃度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3,；
遷移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec；
磁場(chǎng)強(qiáng)度：0.37T, 0.55T, 1T, 0.25~1T變場(chǎng)磁體,；
樣品測(cè)量板：PCB樣品板,，SPCB彈簧樣品板，晶圓樣品板等,；
樣品尺寸：5mmX5mm ~ 20mmX20mm (可選配30mm或2inch大樣品板),；
測(cè)量溫度：常溫，77K液氮??；
2、 軟件操作環(huán)境
XP / Win7 / Win8 / Win10環(huán)境下
3,、 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
體載流子濃度,、表面載流子濃度；
遷移率;
霍爾系數(shù),；
電阻率,方塊電阻,；
磁致電阻；
電阻的縱橫比率,；
4,、 儀器尺寸和重量
主機(jī)尺寸：360×300×105 mm (W×H×D)磁體Kit尺寸：200×120×110 mm (W×H×D)；
凈重：7.7千克,；
5,、 測(cè)量材料
Si, SiGe, SiC, ZnO, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ITO等所有半導(dǎo)體薄膜(P型和N型)；
參考用戶：
HMS-3000霍爾效應(yīng)儀國(guó)內(nèi)科研用戶超過(guò)了100臺(tái),。
清華大學(xué),、北京大學(xué),、復(fù)旦大學(xué)、上海交大,、ZG科大,、浙江大學(xué)、哈工大,、電子科大,、西北工大、湖南大學(xué),、中南大學(xué),、上海大學(xué)、中科院物理所,、半導(dǎo)體所,、長(zhǎng)春光機(jī)所、蘭州化物所,、上海技物所,、蘇州納米所...
