技術(shù)指標(biāo)：

1. 腔體結(jié)構(gòu)

1.1. 配置不銹鋼STM分析腔，配備離子泵,、機(jī)械泵,、真空規(guī)等泵抽系統(tǒng)，背景真空優(yōu)于1*10^-9 mbar

1.2配備不銹鋼快速進(jìn)樣室,，配備泵抽系統(tǒng),，背景真空優(yōu)于5*10^-8mbar

2 近常壓變溫掃描頭

2.1 最大掃描范圍不小于1.0 μm x 1.0 μm（T＞350K）。

2.2 X/Y方向的補(bǔ)償范圍：≥±750nm,；Z方向?yàn)?plusmn;115nm,；

*2.3 氣壓工作范圍，不小于UHV-100 mbar

*2.4 溫度控制范圍：UHV條件下,，不小于220K-700K,，10 mbar壓力下， 不小于RT-500K,。

*2.5 低溫下（150 K< T <RT）最大熱漂移速率：<0.05nm/min (垂直方向),，＜0.15nm/min (水平方向)。

*2.6 掃描頭機(jī)械穩(wěn)定性（針尖固定位置不動(dòng),，在恒壓恒流模式下,，Z中噪音的峰峰值）：< 5 pm。

2.7 配備近常壓進(jìn)氣氣路

2.8配置溫度控制單元和樣品轉(zhuǎn)移機(jī)械手

3 STM控制器

3.1匹配前放增益1V/nA,。

3.2隧穿電流范圍：不小于0.01nA–50nA。

*3.3具有快速掃描功能,，數(shù)據(jù)獲取速度：不低于1000000像素/秒,。

3.4 配備配套軟件和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)一套

4 針尖刻蝕離子源

4.1用于針尖原位處理，離子能量范圍最大：不小于5 keV,。

4.2離子束流（Ar氣）最大值：≥ 20 μA,。