技術(shù)參數(shù)：

1近常壓XPS真空系統(tǒng),，包含分析腔和快速進(jìn)樣腔

1.1 分析腔采用μ金屬腔體或不銹鋼腔體加消磁線圈

1.2 分析腔配備分子泵以及前級泵,，真空≤5×10^-9 mbar

1.3 快速進(jìn)樣腔采用不銹鋼腔體

1.4 快速進(jìn)樣腔配備分子泵和前級泵,，真空≤5×10^-8 mbar

2電子能量分析器

*2.1 半球型，平均半徑150 mm

*2.2四級差分抽氣系統(tǒng),，一級和二級差分抽氣之間配有閥門,，可以實(shí)現(xiàn)真空腔體進(jìn)氣時(shí)保證分析器的真空度

2.3工作壓力最大可達(dá)25 mbar

*2.4分析器接收角：≥44^o

2.5 工作距離 300-500μm

2.6 八個(gè)入口狹縫，三個(gè)出口狹縫

2.7 能量分辨率 ≤10 meV

*2.8探測能量范圍可達(dá)3.5 keV

*2.9 Ag 3d峰計(jì)數(shù)率（在Al靶X光源束斑≤250 μm, 20 W條件下）：

   ≥70 kcps在UHV條件,；≥7 kcps 在10 mbar N₂條件,；≥0.5 kcps在25 mbar N₂條件

*2.10 配有一維探測器（ADCMOS）

3 單色化陽極靶微聚焦X射線光源

*3.1 類型：單色化Al/Ag/Cr三陽極靶

*3.2工作范圍：10^-10 – 25 mbar

3.3 Al靶光斑尺寸： ≤ 200 μm

3.4 Al靶光通量≥1.0x1010 photons /s; Ag靶光通量≥1.0x109 photons/s，Cr靶光通量≥1.0x10¹⁰ photos/s

3.5 配有差抽系統(tǒng)

3.6 配套水冷機(jī)組,，最大水壓可達(dá)9 bar

4 進(jìn)氣氣路

4.1配有三路進(jìn)氣管路系統(tǒng),，配備質(zhì)量流量計(jì)，用于氣體通入

4.2帶有自動壓力控制,，壓力范圍：1-30 mbar

5 分析腔四軸全自動樣品架

5.1四軸樣品架移動范圍：

   X = ±12.5 mm

   Y = ±12.5 mm

   Z 方向范圍隨系統(tǒng)配置

   P = ±180° polar（極角）

5.2 四軸全自動化馬達(dá)

*5.3配備150 W紅外激光加熱器，在25 mbar N₂條件下,，樣品溫度最高可達(dá)1000 ℃

5.5 配有液氮冷卻,，樣品溫度可到150 K

6. 紫外光源

6.1 束流密度＞2x10¹⁶ photons/(sec x sterad)

*6.1 能量分辨率：FWHM＜2meV

6.3 可用氣體：He、Ne,、Ar等

6.4 樣品上束斑尺寸：＜500μm

*6.5 可在近常壓環(huán)境下進(jìn)行UPS測試,；