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快速退火爐的硬件更換周期

時間：2025/6/5閱讀：61
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真空快速退火爐有低真空型號(10-3hPa),、高真空型號(10-6hPa),；可存儲50個程序，每個程序最多分為50段控制,；全自動智能控制,，包括溫度、時間,、氣體流量,、真空度、循環(huán)水均可自動設(shè)置,。
應(yīng)用領(lǐng)域：
離子注入/接觸退火,；
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA),，快速熱氧化(RTO),，快速熱氮化(RTN)；
可在真空,、惰性氣氛,、氧氣、氫氣,、混合氣等不同環(huán)境下使用,；
SiAu, SiAl, SiMo合金化；
低介電材料,；
晶體化,，致密化；
太陽能電池片鍵合,。
硬件更換：
1.加熱燈管更換：加熱燈管超過使用壽命或無法點亮時需進行更換,。加熱燈管的使用壽命為3000小時，高溫狀態(tài)下會降低其使用壽命,。
2.真空泵油更換：在使用過程中,，請每季度固定觀察1次真空油表，當油表顯示油量低于1/3時請?zhí)砑诱婵毡脻櫥偷接捅硪话胍陨稀?/div>
3.熱電偶更換：當熱電偶測溫不正?；蛘邠p壞時需進行更換,。熱電偶的正常使用壽命為3個月，隨環(huán)境因素降低其壽命,。
4.O型圈的更換：O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時需進行更換,，其壽命受外力以及溫度因素影響。
 

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