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EST500WN代理現(xiàn)貨EBARA/荏原干式真空泵

參考價:	￥ 3900
訂貨量:	1個

具體成交價以合同協(xié)議為準

EST500WN 產(chǎn)品型號
EBARA/荏原 品牌
代理商 廠商性質(zhì)
深圳市 所在地

訪問次數(shù)：65更新時間：2025-04-29 14:48:47

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產(chǎn)品簡介

泵軸位置	其他	抽氣量	見參數(shù)
輸送介質(zhì)	其他	外形尺寸	見規(guī)格
葉輪數(shù)目	其他	應用領域	化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,綜合
重量	75kg

代理現(xiàn)貨EBARA/荏原 EST500WN干式真空泵
代理現(xiàn)貨EBARA/荏原干式真空泵
荏原的精密、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術(shù)制造環(huán)境,，是真空技術(shù)與平坦化技術(shù),。
荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品，除了半導體制造的CMP裝置，還有干式真空泵,、廢氣處理設備,、臭氧水制造設備等。這些產(chǎn)品具有高性能,、高可靠性以及安心的支援體制,，持續(xù)被采用于多樣化的領域。

產(chǎn)品介紹

代理現(xiàn)貨EBARA/荏原干式真空泵

代理現(xiàn)貨EBARA/荏原干式真空泵

荏原的精密,、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術(shù)制造環(huán)境,，是真空技術(shù)與平坦化技術(shù)。

荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品,，除了半導體制造的CMP裝置,，還有干式真空泵、廢氣處理設備,、臭氧水制造設備等,。這些產(chǎn)品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制,，持續(xù)被采用于多樣化的領域,。不僅于半導體領域，荏原制作所的產(chǎn)品于化學,、醫(yī)療以及其他制造業(yè)與研究開發(fā)用途中都十分活躍,。

以下是關于干式真空泵的詳細介紹：

基本信息

定義：干式真空泵（Dry Vacuum Pump）也稱無油真空泵，是為滿足工業(yè)生產(chǎn)對真空環(huán)境越來越嚴格的要求而發(fā)展起來的新型真空獲得設備,，工作時泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),。
發(fā)展歷程：17 世紀，葛利克,、伽利略等科學家開始研究人造真空,，其使用的裝置是干式真空泵的簡易版本。1985 年,，日本研發(fā)并生產(chǎn)了一臺爪型式真空泵,，應用于半導體產(chǎn)業(yè)鏈中。1994 年,，中國自主研發(fā)了第一臺爪式真空泵,，開啟了中國干式真空泵的自主研發(fā)道路。

工作原理與分類

容積式干式真空泵：通過改變泵腔容積來實現(xiàn)抽氣,，如多級羅茨泵,、爪型泵、往復式活塞泵,、螺桿式泵和渦旋式泵等,。以螺桿式泵為例,，在泵體內(nèi)平行配置著一對轉(zhuǎn)子，分別稱為陰,、陽轉(zhuǎn)子,，一般陽轉(zhuǎn)子與電機相連，通過一對同步齒輪帶動陰轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動,，陰陽轉(zhuǎn)子之間,、轉(zhuǎn)子與泵體之間都有微小的間隙，不直接接觸,，無需潤滑,，氣體由上側(cè)進入，在泵腔內(nèi)壓縮由轉(zhuǎn)子下端排除,。

動量傳輸式干式真空泵：如渦輪式無油泵,、牽引型干式泵等。渦輪式無油泵在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復合式結(jié)構(gòu),，多級串聯(lián)抽氣,，靠高速旋轉(zhuǎn)的葉輪對氣體分子施加動量，使氣體分子獲得定向速度而被抽走,。

特點

氣體處理限制：不能處理大量的腐蝕性氣體,，否則會使其表面腐蝕，導致泵的效率下降和壽命縮短,；也不能處理大量的水蒸氣,，一般無法處理超過單位體積幾個百分點的水蒸氣。
造價較高：相比一些傳統(tǒng)的有油真空泵,，干式真空泵的制造工藝和技術(shù)要求較高,，因此造價通常也比較高。

清潔環(huán)保：無油潤滑,，不會產(chǎn)生油污和蒸汽污染,，能保持真空環(huán)境的潔凈，特別適用于對環(huán)境清潔度要求高的場合,，如半導體制造,、制藥等行業(yè)。
真空度高：可以達到的真空度,，最高可達到 10-9Torr 的真空度級別,，能滿足一些需要超高真空的工藝需求。
低維護成本：沒有潤滑油和濾芯等易損部件,，減少了定期更換潤滑油,、濾芯等維護工作，降低了維護成本,。
可靠性高：由于沒有飛濺潤滑油,，避免了因潤滑油問題導致的故障,，有更高的可靠性和更長的使用壽命,。
可抽除特殊氣體：部分干式真空泵可抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體,，還能處理腐蝕性介質(zhì)和易燃易爆氣體。

應用領域

半導體行業(yè)：用于半導體制造過程中的光刻,、蝕刻,、鍍膜等工藝，要求真空環(huán)境潔凈度高,，干式真空泵可避免油污染,，保證半導體器件的質(zhì)量和性能。
化學工業(yè)：在化工生產(chǎn)中的蒸餾,、干燥,、脫泡等工藝中廣泛應用，可抽除各種腐蝕性,、易燃易爆氣體,，同時能滿足化工工藝對真空度的要求。
醫(yī)藥工業(yè)：制藥過程中的真空干燥,、濃縮,、蒸餾以及藥品包裝等環(huán)節(jié)，干式真空泵可提供清潔的真空環(huán)境,，防止藥品受到污染,。
食品工業(yè)：用于食品的真空包裝、冷凍干燥等,，能延長食品的保質(zhì)期,，保持食品的品質(zhì)。
航天領域：在航天器的制造,、測試以及太空模擬等方面,，干式真空泵可提供高真空度的環(huán)境，模擬太空環(huán)境條件,。

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