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EST25N進口優(yōu)選EBARA荏原制作所干式真空泵

參考價:	￥ 3000
訂貨量:	1個

具體成交價以合同協(xié)議為準

EST25N 產(chǎn)品型號
EBARA/荏原 品牌
代理商 廠商性質(zhì)
深圳市 所在地

訪問次數(shù)：62更新時間：2025-04-29 14:13:01

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EBARA荏原制作所

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產(chǎn)品簡介

泵軸位置	其他	輸送介質(zhì)	其他
葉輪數(shù)目	其他	應用領域	化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,綜合
重量	75kg

進口優(yōu)選EBARA荏原制作所 EST25N干式真空泵
進口優(yōu)選EBARA荏原制作所干式真空泵
荏原的精密,、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術制造環(huán)境,，是真空技術與平坦化技術,。
荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品,，除了半導體制造的CMP裝置,，還有干式真空泵、廢氣處理設備,、臭氧水制造設備等,。這些產(chǎn)品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制,，持續(xù)被采用于多樣化的領域,。

產(chǎn)品介紹

進口優(yōu)選EBARA荏原制作所干式真空泵

荏原的精密、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術制造環(huán)境,，是真空技術與平坦化技術,。

荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品，除了半導體制造的CMP裝置,，還有干式真空泵、廢氣處理設備,、臭氧水制造設備等,。這些產(chǎn)品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制,，持續(xù)被采用于多樣化的領域,。不僅于半導體領域，荏原制作所的產(chǎn)品于化學,、醫(yī)療以及其他制造業(yè)與研究開發(fā)用途中都十分活躍,。

以下是關于干式真空泵的詳細介紹：

基本信息

定義：干式真空泵（Dry Vacuum Pump）也稱無油真空泵,，是為滿足工業(yè)生產(chǎn)對真空環(huán)境越來越嚴格的要求而發(fā)展起來的新型真空獲得設備，工作時泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),。
發(fā)展歷程：17 世紀,，葛利克、伽利略等科學家開始研究人造真空,，其使用的裝置是干式真空泵的簡易版本,。1985 年，日本研發(fā)并生產(chǎn)了一臺爪型式真空泵,，應用于半導體產(chǎn)業(yè)鏈中,。1994 年，中國自主研發(fā)了第一臺爪式真空泵,，開啟了中國干式真空泵的自主研發(fā)道路,。

工作原理與分類

容積式干式真空泵：通過改變泵腔容積來實現(xiàn)抽氣，如多級羅茨泵,、爪型泵,、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等,。以螺桿式泵為例,，在泵體內(nèi)平行配置著一對轉(zhuǎn)子，分別稱為陰,、陽轉(zhuǎn)子,，一般陽轉(zhuǎn)子與電機相連，通過一對同步齒輪帶動陰轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動,，陰陽轉(zhuǎn)子之間,、轉(zhuǎn)子與泵體之間都有微小的間隙，不直接接觸,，無需潤滑,，氣體由上側(cè)進入，在泵腔內(nèi)壓縮由轉(zhuǎn)子下端排除,。

動量傳輸式干式真空泵：如渦輪式無油泵,、牽引型干式泵等。渦輪式無油泵在結構上采用徑向流和周向流泵的復合式結構,，多級串聯(lián)抽氣,，靠高速旋轉(zhuǎn)的葉輪對氣體分子施加動量，使氣體分子獲得定向速度而被抽走,。

特點

氣體處理限制：不能處理大量的腐蝕性氣體,，否則會使其表面腐蝕，導致泵的效率下降和壽命縮短,；也不能處理大量的水蒸氣,，一般無法處理超過單位體積幾個百分點的水蒸氣,。
造價較高：相比一些傳統(tǒng)的有油真空泵，干式真空泵的制造工藝和技術要求較高,，因此造價通常也比較高,。

清潔環(huán)保：無油潤滑，不會產(chǎn)生油污和蒸汽污染,，能保持真空環(huán)境的潔凈,，特別適用于對環(huán)境清潔度要求高的場合，如半導體制造,、制藥等行業(yè),。
真空度高：可以達到的真空度，最高可達到 10-9Torr 的真空度級別,，能滿足一些需要超高真空的工藝需求,。
低維護成本：沒有潤滑油和濾芯等易損部件，減少了定期更換潤滑油,、濾芯等維護工作,，降低了維護成本。
可靠性高：由于沒有飛濺潤滑油,，避免了因潤滑油問題導致的故障,，有更高的可靠性和更長的使用壽命。
可抽除特殊氣體：部分干式真空泵可抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體,，還能處理腐蝕性介質(zhì)和易燃易爆氣體,。

應用領域

半導體行業(yè)：用于半導體制造過程中的光刻、蝕刻,、鍍膜等工藝,，要求真空環(huán)境潔凈度高，干式真空泵可避免油污染,，保證半導體器件的質(zhì)量和性能,。
化學工業(yè)：在化工生產(chǎn)中的蒸餾、干燥,、脫泡等工藝中廣泛應用,，可抽除各種腐蝕性、易燃易爆氣體,，同時能滿足化工工藝對真空度的要求,。
醫(yī)藥工業(yè)：制藥過程中的真空干燥、濃縮,、蒸餾以及藥品包裝等環(huán)節(jié)，干式真空泵可提供清潔的真空環(huán)境,，防止藥品受到污染,。
食品工業(yè)：用于食品的真空包裝,、冷凍干燥等，能延長食品的保質(zhì)期,，保持食品的品質(zhì),。
航天領域：在航天器的制造、測試以及太空模擬等方面,，干式真空泵可提供高真空度的環(huán)境,，模擬太空環(huán)境條件。

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