產(chǎn)品簡(jiǎn)介
泵軸位置 |
其他 |
輸送介質(zhì) |
其他 |
葉輪數(shù)目 |
其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,綜合 |
重量 |
75kg |
進(jìn)口優(yōu)選EBARA荏原制作所 EV-M1205SF干式真空泵
進(jìn)口優(yōu)選EBARA荏原制作所 干式真空泵
荏原的精密,、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術(shù)制造環(huán)境,,是真空技術(shù)與平坦化技術(shù),。
荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品,除了半導(dǎo)體制造的CMP裝置,,還有干式真空泵,、廢氣處理設(shè)備、臭氧水制造設(shè)備等,。這些產(chǎn)品具有高性能,、高可靠性以及安心的支援體制,,持續(xù)被采用于多樣化的領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
進(jìn)口優(yōu)選EBARA荏原制作所 干式真空泵
進(jìn)口優(yōu)選EBARA荏原制作所 干式真空泵
荏原的精密,、電子事業(yè)分公司支援業(yè)界的技術(shù)制造環(huán)境,,是真空技術(shù)與平坦化技術(shù)。
荏原向世界提供各式各樣的產(chǎn)品,,除了半導(dǎo)體制造的CMP裝置,,還有干式真空泵、廢氣處理設(shè)備,、臭氧水制造設(shè)備等,。這些產(chǎn)品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制,,持續(xù)被采用于多樣化的領(lǐng)域。不僅于半導(dǎo)體領(lǐng)域,,荏原制作所的產(chǎn)品于化學(xué),、醫(yī)療以及其他制造業(yè)與研究開(kāi)發(fā)用途中都十分活躍。
以下是關(guān)于干式真空泵的詳細(xì)介紹:
基本信息
定義:干式真空泵(Dry Vacuum Pump)也稱無(wú)油真空泵,,是為滿足工業(yè)生產(chǎn)對(duì)真空環(huán)境越來(lái)越嚴(yán)格的要求而發(fā)展起來(lái)的新型真空獲得設(shè)備,,工作時(shí)泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)。
發(fā)展歷程:17 世紀(jì),,葛利克,、伽利略等科學(xué)家開(kāi)始研究人造真空,其使用的裝置是干式真空泵的簡(jiǎn)易版本,。1985 年,,日本研發(fā)并生產(chǎn)了一臺(tái)爪型式真空泵,應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,。1994 年,,中國(guó)自主研發(fā)了第一臺(tái)爪式真空泵,開(kāi)啟了中國(guó)干式真空泵的自主研發(fā)道路,。
工作原理與分類
容積式干式真空泵:通過(guò)改變泵腔容積來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣,,如多級(jí)羅茨泵、爪型泵,、往復(fù)式活塞泵,、螺桿式泵和渦旋式泵等。以螺桿式泵為例,,在泵體內(nèi)平行配置著一對(duì)轉(zhuǎn)子,,分別稱為陰、陽(yáng)轉(zhuǎn)子,,一般陽(yáng)轉(zhuǎn)子與電機(jī)相連,,通過(guò)一對(duì)同步齒輪帶動(dòng)陰轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng),,陰陽(yáng)轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵體之間都有微小的間隙,,不直接接觸,,無(wú)需潤(rùn)滑,氣體由上側(cè)進(jìn)入,,在泵腔內(nèi)壓縮由轉(zhuǎn)子下端排除,。
動(dòng)量傳輸式干式真空泵:如渦輪式無(wú)油泵、牽引型干式泵等,。渦輪式無(wú)油泵在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu),,多級(jí)串聯(lián)抽氣,靠高速旋轉(zhuǎn)的葉輪對(duì)氣體分子施加動(dòng)量,,使氣體分子獲得定向速度而被抽走,。
特點(diǎn)
氣體處理限制:不能處理大量的腐蝕性氣體,否則會(huì)使其表面腐蝕,,導(dǎo)致泵的效率下降和壽命縮短,;也不能處理大量的水蒸氣,一般無(wú)法處理超過(guò)單位體積幾個(gè)百分點(diǎn)的水蒸氣,。
造價(jià)較高:相比一些傳統(tǒng)的有油真空泵,,干式真空泵的制造工藝和技術(shù)要求較高,因此造價(jià)通常也比較高,。
清潔環(huán)保:無(wú)油潤(rùn)滑,,不會(huì)產(chǎn)生油污和蒸汽污染,能保持真空環(huán)境的潔凈,,特別適用于對(duì)環(huán)境清潔度要求高的場(chǎng)合,,如半導(dǎo)體制造、制藥等行業(yè),。
真空度高:可以達(dá)到的真空度,,最高可達(dá)到 10-9Torr 的真空度級(jí)別,能滿足一些需要超高真空的工藝需求,。
低維護(hù)成本:沒(méi)有潤(rùn)滑油和濾芯等易損部件,,減少了定期更換潤(rùn)滑油、濾芯等維護(hù)工作,,降低了維護(hù)成本,。
可靠性高:由于沒(méi)有飛濺潤(rùn)滑油,避免了因潤(rùn)滑油問(wèn)題導(dǎo)致的故障,,有更高的可靠性和更長(zhǎng)的使用壽命,。
可抽除特殊氣體:部分干式真空泵可抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體,還能處理腐蝕性介質(zhì)和易燃易爆氣體,。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè):用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的光刻,、蝕刻,、鍍膜等工藝,要求真空環(huán)境潔凈度高,,干式真空泵可避免油污染,,保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。
化學(xué)工業(yè):在化工生產(chǎn)中的蒸餾,、干燥,、脫泡等工藝中廣泛應(yīng)用,可抽除各種腐蝕性,、易燃易爆氣體,,同時(shí)能滿足化工工藝對(duì)真空度的要求。
醫(yī)藥工業(yè):制藥過(guò)程中的真空干燥,、濃縮,、蒸餾以及藥品包裝等環(huán)節(jié),干式真空泵可提供清潔的真空環(huán)境,,防止藥品受到污染,。
食品工業(yè):用于食品的真空包裝、冷凍干燥等,,能延長(zhǎng)食品的保質(zhì)期,保持食品的品質(zhì),。
航天領(lǐng)域:在航天器的制造,、測(cè)試以及太空模擬等方面,干式真空泵可提供高真空度的環(huán)境,,模擬太空環(huán)境條件,。