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NE-5700/NE-7800日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
產(chǎn)品介紹
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
批量生產(chǎn)的干法刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800
適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設(shè)備是一款可擴(kuò)展的刻蝕設(shè)備，支持從一個(gè)腔室到多個(gè)腔室,，強(qiáng)調(diào)性價(jià)比,。
特征
除1個(gè)腔體外，還可配備磁場(chǎng)ICP（ISM）,、NLD等離子體源,、灰化腔體,、CCP腔體，兼容多種刻蝕工藝,。
配備星形電極和各種溫度控制功能,，可實(shí)現(xiàn)過程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。
易于維護(hù)的結(jié)構(gòu),，停機(jī)時(shí)間最短,，全面的備份系統(tǒng)，包括再生清潔,、零件供應(yīng),、維護(hù)和培訓(xùn)服務(wù)。
半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng),。
目的
化合物（LED,、LD、高頻器件）和功率器件（IGBT 布線加工,、SiC 加工）,。
用于金屬布線、層間絕緣膜（樹脂類）,、柵電極加工工序,。
用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。
用于加工磁性材料,。
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