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中級(jí)會(huì)員 | 第2年

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PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)NeoceraPioneer系列

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地

更新時(shí)間:2024-11-18 15:48:13瀏覽次數(shù):506次

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產(chǎn)品型號(hào):Pioneer240,、Pioneer180,、Pioneer120Pioneer系列PLD系統(tǒng)---基于經(jīng)驗(yàn)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)Neocera利用PLD開(kāi)展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質(zhì)量的臨界參數(shù),,特別適用于沉積復(fù)雜氧化物薄膜

        產(chǎn)品型號(hào):Pioneer240,、Pioneer180、Pioneer120 

 

        Pioneer系列 PLD系統(tǒng)---基于經(jīng)驗(yàn)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)

 

        Neocera利用PLD開(kāi)展了深入廣泛的研究,,建立了獲得薄膜質(zhì)量的臨界參數(shù),,特別適用于沉積復(fù)雜氧化物薄膜。這些思考已經(jīng)應(yīng)用于Pioneer系統(tǒng)的設(shè)計(jì)之中,。

 

        很多復(fù)雜氧化物薄膜在相對(duì)高的氧壓(>100Torr)下冷卻可獲得更高的質(zhì)量,。所有Pioneer系統(tǒng)都具備此功能(壓力范圍可從額定初始?jí)簭?qiáng)到大氣壓)。這也有益于納米粒子的生成,。

 

        Pioneer PLD系統(tǒng)的激光束入射角為45°,,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時(shí)避免使用復(fù)雜而昂貴的光學(xué)部件,。更大的入射角能夠拉長(zhǎng)靶材上的激光斑點(diǎn),,導(dǎo)致密度均勻性的損失。

 

        為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,,消除油的回流對(duì)薄膜質(zhì)量的影響,,所有Pioneer系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置都采用無(wú)油泵系統(tǒng)。

 

        我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù),。Pioneer系統(tǒng)可以控制靶材和基片的距離,,以達(dá)到的沉積條件。

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