產(chǎn)品型號：Pioneer240、Pioneer180,、Pioneer120 

        Pioneer系列 PLD系統(tǒng)---基于經(jīng)驗的創(chuàng)新設(shè)計

        Neocera利用PLD開展了深入廣泛的研究,，建立了獲得薄膜質(zhì)量的臨界參數(shù)，特別適用于沉積復(fù)雜氧化物薄膜,。這些思考已經(jīng)應(yīng)用于Pioneer系統(tǒng)的設(shè)計之中,。

        很多復(fù)雜氧化物薄膜在相對高的氧壓（>100Torr）下冷卻可獲得更高的質(zhì)量。所有Pioneer系統(tǒng)都具備此功能（壓力范圍可從額定初始壓強到大氣壓）,。這也有益于納米粒子的生成,。

        Pioneer PLD系統(tǒng)的激光束入射角為45°，保持了激光密度在靶材上的均勻性,，同時避免使用復(fù)雜而昂貴的光學(xué)部件,。更大的入射角能夠拉長靶材上的激光斑點，導(dǎo)致密度均勻性的損失,。

        為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,，消除油的回流對薄膜質(zhì)量的影響，所有Pioneer系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置都采用無油泵系統(tǒng)。

        我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù),。Pioneer系統(tǒng)可以控制靶材和基片的距離,，以達(dá)到的沉積條件。