本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè),。主要用于太陽(yáng)能電池鈣鈦礦,、OLED和PLED,、半導(dǎo)體制備等實(shí)驗(yàn)研究與應(yīng)用。

┃ 設(shè)備特點(diǎn)

• 蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,，實(shí)現(xiàn)蒸鍍,、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作,，使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,，消除有機(jī)大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能,、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備