關(guān)于真空的名詞解釋,,送給剛?cè)胄械哪悖?/h3>
1、真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài),。
2,、真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,,真空度低表示真空度“差”的意思,。
3、真空度單位
通常用托(Torr)為單位,近年上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
4、托與帕的轉(zhuǎn)換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
5、平均自由程
作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,,用符號(hào)“λ”表示,。
6、流量
單位時(shí)間流過任意截面的氣體量,,符號(hào)用“Q”表示,,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s),。
7、流導(dǎo)
表示真空管道通過氣體的能力,。單位為升/秒(L/s),,在穩(wěn)定狀態(tài)下,,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差,。符號(hào)記作“U”。
U=Q/(P2- P1)
8,、壓力或壓強(qiáng)
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,,用“P”表示。
9,、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,,符號(hào):(Atm)。
10,、極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后,,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空,。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,MAX后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次,,取其10次的平均值為極限真空值,。
11、抽氣速率
在一定的壓強(qiáng)和溫度下,,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
12,、熱偶真空計(jì)
利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),,元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì),。
13、電離真空計(jì)(又收熱陰極電離計(jì))
由筒狀收集極,,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,,離子被收集極收集,,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
14,、復(fù)合真空計(jì)
由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,,測量范圍從大氣~10-5Pa。
15、冷陰極電離計(jì)
陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場作用,,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì),。
16,、電阻真空計(jì)
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),,元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,,通過電橋電路來測量真空度的真空計(jì),。
17,、麥克勞真空計(jì)(壓縮式真空計(jì))
將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種真空計(jì),。
18、B-A規(guī)
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,,延伸測量下限,,可測超高真空。
19,、水環(huán)真空泵
泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán),。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。
20,、往復(fù)真空泵
利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵,。
21、油封機(jī)械真空泵
用油來保持密封的機(jī)械真空泵,,可分為定片式,、旋片式、滑閥式,、余擺線式等,。
22、羅茨真空泵
具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,,此泵不可以單獨(dú)抽氣,,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵,。
23,、渦輪分子真空泵
有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除,。
24、油擴(kuò)散真空泵
擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流,。在分子流條件下,,氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除,。
25,、低溫真空泵
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
26、冷阱(水冷擋板)
置于真空容器和泵之間,,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置,。
27、氣鎮(zhèn)閥
油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔,,并裝上調(diào)節(jié)閥,,當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。
28,、真空冷凍干燥
真空冷凍干燥,,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,,使其含有的水份變成冰塊,,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。
29,、真空蒸鍍
在真空環(huán)境中,,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜,。
30,、真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來干燥物品的方法。
31,、真空系統(tǒng)常用名稱
(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵,。
(2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵,。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵,。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵,。
(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵,。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,,就是維持泵,。
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1、真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài),。
2,、真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,,真空度低表示真空度“差”的意思,。
3、真空度單位
通常用托(Torr)為單位,近年上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
4、托與帕的轉(zhuǎn)換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
5、平均自由程
作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,,用符號(hào)“λ”表示,。
6、流量
單位時(shí)間流過任意截面的氣體量,,符號(hào)用“Q”表示,,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s),。
7、流導(dǎo)
表示真空管道通過氣體的能力,。單位為升/秒(L/s),,在穩(wěn)定狀態(tài)下,,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差,。符號(hào)記作“U”。
U=Q/(P2- P1)
8,、壓力或壓強(qiáng)
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,,用“P”表示。
9,、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,,符號(hào):(Atm)。
10,、極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后,,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空,。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,MAX后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測量一次,,取其10次的平均值為極限真空值,。
11、抽氣速率
在一定的壓強(qiáng)和溫度下,,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,,簡稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
12,、熱偶真空計(jì)
利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),,元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì),。
13、電離真空計(jì)(又收熱陰極電離計(jì))
由筒狀收集極,,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,,離子被收集極收集,,根據(jù)收集的離子流大小來測量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
14,、復(fù)合真空計(jì)
由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,,測量范圍從大氣~10-5Pa。
15、冷陰極電離計(jì)
陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場作用,,陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì),。
16,、電阻真空計(jì)
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),,元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,,通過電橋電路來測量真空度的真空計(jì),。
17,、麥克勞真空計(jì)(壓縮式真空計(jì))
將待測的氣體用汞(或油)壓縮到一極小體積,,然后比較開管和閉管的液柱差,利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種真空計(jì),。
18、B-A規(guī)
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲,放在柵網(wǎng)中心,,燈絲放在柵網(wǎng)外面,因而減少軟X射線影響,,延伸測量下限,,可測超高真空。
19,、水環(huán)真空泵
泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán),。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。
20,、往復(fù)真空泵
利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵,。
21、油封機(jī)械真空泵
用油來保持密封的機(jī)械真空泵,,可分為定片式,、旋片式、滑閥式,、余擺線式等,。
22、羅茨真空泵
具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,,此泵不可以單獨(dú)抽氣,,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵,。
23,、渦輪分子真空泵
有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪,當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除,。
24、油擴(kuò)散真空泵
擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流,。在分子流條件下,,氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散,并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除,。
25,、低溫真空泵
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
26、冷阱(水冷擋板)
置于真空容器和泵之間,,用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置,。
27、氣鎮(zhèn)閥
油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔,,并裝上調(diào)節(jié)閥,,當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置,,空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比,,從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。
28,、真空冷凍干燥
真空冷凍干燥,,也稱升華干燥。其原理是將材料冷凍,,使其含有的水份變成冰塊,,然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。
29,、真空蒸鍍
在真空環(huán)境中,,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜,。
30,、真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來干燥物品的方法。
31,、真空系統(tǒng)常用名稱
(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵,。
(2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵,。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵,。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵,。
(4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵,。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,,就是維持泵,。
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