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山田光學(xué)YAMADA高輝度鹵素光源裝置表面檢查燈YP-150I/YP-250I用途有哪些
這是一種光源裝置,，通過(guò)使用用于檢查 Si 晶圓和玻璃表面上的劃痕的照明光源提供 400,000Lux（30Φ）或更高的照明,，可以觀察到細(xì)微的劃痕,。
日本YAMADA山田半導(dǎo)體檢查燈產(chǎn)品特點(diǎn)：
1,、可照亮樣品表面400,000Lx以上,。
2,、光源采用鹵素?zé)?，色溫高,，照度不均小，光線極其穩(wěn)定銳利,。
3,、采用冷鏡，熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3,。
4,、兩級(jí)切換機(jī)構(gòu)，一鍵實(shí)現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察,。
YP-150I 照度范圍：30mmφ
YP-250I 照度范圍：60mmφ
高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I
高強(qiáng)度鹵素光源裝置
超精密平面檢測(cè)的理想選擇,！通過(guò)驚人的照明，可以檢測(cè)小于 0.2 μm 的缺陷,。
“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,，用于檢測(cè)
最終成品表面上的各種缺陷，如異物,、劃痕,、拋光不均勻、霧度,、滑移等,，是半導(dǎo)體加工過(guò)程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板
樣品表面的照度可超過(guò) 400,000 Lx,。
另外,，由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸?/span>
光照不均勻的情況很少,，光照***穩(wěn)定銳利,。
姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。
[特點(diǎn)]
■ 光源采用鹵素?zé)?/span>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請(qǐng)用于超精密平面檢測(cè),！
高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測(cè)劃痕,、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置,。
采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?，色溫高，減少照明不均,，照明***穩(wěn)定銳利,。
此外,，本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī)，有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇,，可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用,。
【特點(diǎn)】
■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面
■ 可選擇螺旋槳式和風(fēng)道式
■ 使用冷鏡，熱影響是傳統(tǒng)的1/3
■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以
■ 8inch 兼容
[照明范圍]
■ YP-150I… 照度范圍 φ30
■ YP-250I… 照度范圍 φ60
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