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日本YAMADA山田光學半導體檢查燈YP-150I/YP-250I區(qū)別有哪些
這是一種光源裝置,,通過使用用于檢查 Si 晶圓和玻璃表面上的劃痕的照明光源提供 400,000Lux(30Φ)或更高的照明,可以觀察到細微的劃痕,。
日本YAMADA山田半導體檢查燈產品特點:
1,、可照亮樣品表面400,000Lx以上。
2,、光源采用鹵素燈,色溫高,,照度不均小,,光線極其穩(wěn)定銳利。
3,、采用冷鏡,,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。
4,、兩級切換機構,,一鍵實現高照度觀察和低照度觀察,。
YP-150I 照度范圍:30mmφ
YP-250I 照度范圍:60mmφ
高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I
高強度鹵素光源裝置
超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷,。
“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測最終成品表面上的各種缺陷,,如異物,、劃痕、拋光不均勻,、霧度,、滑移等,是半導體加工過程中勞動強度的一種,。晶圓和液晶板樣品表面的照度可超過 400,000 Lx,。
另外,由于采用鹵素燈作為光源,,色溫高,,
光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利,。
姊妹機“YP-250I"也可用于 8 英寸,。
[特點]
■ 光源采用鹵素燈
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測!
高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測劃痕,、拋光不均勻,、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。
采用鹵素燈作為光源,,色溫高,,減少照明不均,照明***穩(wěn)定銳利,。
此外,,本機為“YP-150I"的姊妹機,有螺旋槳風機型和管道風機型可供選擇,,可根據應用進行使用,。
【特點】
■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面
■ 可選擇螺旋槳式和風道式
■ 使用冷鏡,熱影響是傳統(tǒng)的1/3
■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以
■ 8inch 兼容
[照明范圍]
■ YP-150I… 照度范圍 φ30
■ YP-250I… 照度范圍 φ60
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