- 進(jìn)樣系統(tǒng)：該系統(tǒng)負(fù)責(zé)將樣品引入ICP-MS儀器中,，包括導(dǎo)管,、蠕動泵、霧化器以及霧室,。樣品通常以溶液形式,，通過蠕動泵送入霧化器轉(zhuǎn)化為氣溶膠狀態(tài)，然后被引入到ICP的中心,。霧化器產(chǎn)生的氣溶膠通過霧化室向等離子體炬?zhèn)鬟f,，霧化室的作用是濾去大的霧粒，保持穩(wěn)定的細(xì)小霧粒的氣溶膠流,。
- 離子源：主要由矩管和RF線圈組成,，是產(chǎn)生高溫等離子體的地方。在ICP系統(tǒng)中,，通過射頻能量激發(fā)氬氣產(chǎn)生等離子體,，形成高溫環(huán)境（約6000~10000K），使樣品中的元素電離,。
- 接口系統(tǒng)：是ICP離子源與質(zhì)譜儀的連接裝置,，負(fù)責(zé)將等離子體中的離子有效傳出到質(zhì)譜儀。它主要由兩個(gè)（或三個(gè)）同軸放置的圓錐體所組成，直接與等離子體焰炬接觸的稱為采樣錐（或提取錐）,，在采樣錐后幾毫米處,，同軸放置的第二個(gè)錐稱為截取錐。
- 離子聚焦透鏡系統(tǒng)：位于截取錐之后,，功能是把離子流聚焦成散角盡量小的很細(xì)的離子束,，然后傳輸?shù)劫|(zhì)量分析器。
- 質(zhì)量分析器：是ICP-MS的核心部件,，負(fù)責(zé)根據(jù)離子的質(zhì)荷比（m/z）進(jìn)行分離和檢測,。常用的質(zhì)量分析器包括四級桿、離子阱,、飛行時(shí)間質(zhì)譜,、磁質(zhì)譜等。
- 真空系統(tǒng)：用于維持質(zhì)譜儀所需的高真空環(huán)境,，以確保離子在運(yùn)動中不產(chǎn)生不應(yīng)有的碰撞,。
此外，ICP-MS儀器通常還配備有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng),、冷卻系統(tǒng),、氣體系統(tǒng)和檢測器等輔助部件，以及用戶友好的軟件,，用于控制儀器操作,、數(shù)據(jù)處理和報(bào)告生成。
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