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掃描運動·高負載通孔型 Carrier.S100/200.XY.Ｃ

? 高負載·高速XY平面運動，大通孔設計,，并聯·水平運動構型+電容閉環(huán)傳感

• 兩維度 XY 掃描運動 100 um * 100 um/ 200 um * 200 um,；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm；

• 最大負載 5 kg,；

• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決方案,；

• ?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

壓電陶瓷偏擺臺,，高負載通孔型,，XY方向——詳細參數：

壓電陶瓷偏擺臺，高負載通孔型,，XY方向——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標準型）和Carrier.SL 系列（輕量型）,。Carrier.S & SL 系列主要針對精密光學,，半導體表征等應用場景，覆蓋載物臺“大行程·高精度·重負載"等需求,，核心特點包括：

• 運動方式覆蓋線性運動 & 俯仰運動

• X,，Z，XY,，XYZ & ZTT等運動形式全面支持

• 線性運動行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達到0.2 nm

• 超快運動響應 & 長時間疲勞測試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級