適用加工范圍

可對厚度≤100μm的大多數(shù)金屬材料(包括不銹鋼、鈦,、鎢,、銅等) 進 行圓孔切割，切割圓孔最小直徑25μm,。

加工精度

圓孔圓度優(yōu)于98%@直徑200μm

圓孔直徑誤差：＜3%@直徑200μm

皮秒激光器

技術(shù)參數(shù)如下：

1)中心波長： 1064nm

2)波長范圍：±1nm

3)平均功率： ~2W

4)脈沖寬度： ~270ps

5)冷卻方式：風(fēng)冷

（選擇皮秒激光器的優(yōu)點：皮秒激光器激光波長1064nm,，能量比較高比較集中，脈沖非持續(xù)照射,，墊片打出的孔很均勻,，而且可以很好的保護墊片，因為高溫灼燒對孔影響很大,，市面上其他激光打孔設(shè)備采用的是紫外激光器/綠光激光器,，波長355/532nm，通常打完孔后,，對孔周圍的墊片損傷比較大，墊片灼燒部分會變得很脆,，承壓效果會變差,，影響高壓實驗。）

運動控制部分

系統(tǒng)的運動控制部分包括X,、Y,、Z、θ,、輔X,、輔Y及電動控制系統(tǒng)和驅(qū) 動，具體參數(shù)如下：

1) X軸行程： 101mm ,，Y軸行程： 101mm

2) Z軸行程： 50mm

3) X,、Y、Z軸重復(fù)定位精度： ~4 μm 4)θ軸偏心率： ~4 μm 5)θ軸轉(zhuǎn)速： 600r/min

6)輔X和輔Y行程： 10mm